超薄防护涂层在微波电路中的应用研究

• 作者: 张娟 章文捷 苗枫 马静
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 真空气相化学沉积 敷形涂覆 预聚体 一氯聚对二甲苯
• 年，卷（期）: 1999,（2）
• 所属期刊栏目: 新工艺新技术
• 页码范围: 75-77
• 页数: 3页
• 分类号: TN6
• 字数: 1178字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.1999.02.011

摘要

应用真空气相化学沉积的工艺方法,在电路板上聚合一层均匀、致密、透明的有机薄膜,并介绍了薄膜的防护性能和介电性能以及在微波电路中的应用情况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苗枫		1	6	1.0	1.0
2	张娟		1	6	1.0	1.0
3	章文捷		1	6	1.0	1.0
4	马静		1	6	1.0	1.0