微型热致动器研究

• 作者: 叶雄英 周兆英 杨岳
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微型机械 微致动器 热致动 硅微细加工
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 器件研究与制造
• 页码范围: 14-18
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 3916字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2000.01.005

摘要

微致动技术是微型机电系统(MEMS)设计制造的重要技术基础.本论文围绕微型热致动器的研制开发,对热致动方式进行较为深入研究,利用硅微细加工工艺制造出多种微型热致动器,并进行了理论分析和实验测试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周兆英	清华大学精密仪器与机械学系	205	3706	31.0	54.0
2	叶雄英	清华大学精密仪器与机械学系	62	1070	15.0	31.0
3	杨岳	清华大学精密仪器与机械学系	6	122	5.0	6.0