硅基微机械微波传输线特性阻抗的数值分析

• 作者: 游淑珍 石艳玲 董兴其 赖宗声
• 来源期刊: 固体电子学研究与进展
• 学科: 工学
• 关键词: 共平面传输线 特性阻抗 微机械工艺技术 有限元方法
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 192-196
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2835字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3819.2001.02.012

摘要

在相似剖分有限元方法的基础上，结合硅基微波共平面传输线的特点，采用混合相似剖分技术，对这种长度为毫米级的悬浮传输线的特性阻抗进行了数值分析，主要讨论了刻蚀工艺的变化对其特性阻抗的影响。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石艳玲	华东师范大学电子科学技术系	47	205	8.0	12.0
2	赖宗声	华东师范大学电子科学技术系	136	779	13.0	18.0
3	游淑珍	华东师范大学电子科学技术系	7	26	2.0	5.0
4	董兴其	华东师范大学电子科学技术系	2	7	2.0	2.0