多束质子辐照晶闸管的退火研究

• 作者: 林理彬 邹睿
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多束质子辐照 晶闸管 退火
• 年，卷（期）: 2001,（11）
• 所属期刊栏目: 支撑技术
• 页码范围: 71-73
• 页数: 3页
• 分类号: TN342
• 字数: 1726字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2001.11.021

摘要

研究了多束质子辐照对晶闸管开关特性和通态电压的影响,分析了退火机理,找出了最佳退火流程,获得了优良的通态电压与关断时间(VTM～Tq)的折衷关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林理彬	四川大学物理系	90	605	13.0	20.0
2	邹睿	四川大学物理系	8	23	3.0	4.0