用于微测辐射热计的氧化矾热敏材料的温度特性

• 作者: 曹永峰 李炳宗 段鹏 茹国平 蒋玉龙 陈永平
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化矾 非制冷微测辐射热计 电阻温度系数 氮氢退火
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: 支撑技术
• 页码范围: 58-62
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.2+1
• 字数: 3860字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2002.05.019

摘要

氧化矾作为非制冷微测辐射热计的热敏材料,电阻率p和电阻温度系数TCR(Temperature Coefficient of Resistance)是表征其性能的重要参数.通过对用离子束溅射得到的氧化矾薄膜在相同时间不同温度下的N2+H.退火实验,我们发现氧化矾薄膜的电阻率p和电阻温度系数TCR之问存在着密切的正相关关系,AES结果表明它们的变化对应着氧化矾热敏材料的O/v比例(或氧空位浓度)的变化.这三个参量随着退火温度的改变而变化,在350～500℃的退火温度范围内,我们发现电阻率p,电阻温度系数TCR以及O/V比例随着温度的变化均出现一个峰值.通过对氧化矾的电阻温度特性的分析,我们讨论了氧化矾薄膜的导电机制.我们认为,用本方法制备的氧化矾薄膜在室温下导电的载流子主要来自于相对较深能级杂质的电离.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈永平	中国科学院上海技术物理所	25	98	6.0	8.0
2	茹国平	复旦大学微电子系	21	95	5.0	9.0
3	李炳宗	复旦大学微电子系	21	90	5.0	9.0
4	曹永峰	复旦大学微电子系	3	38	2.0	3.0
5	蒋玉龙	复旦大学微电子系	10	35	3.0	5.0
6	段鹏	复旦大学微电子系	1	15	1.0	1.0