微弯曲面成型技术-多线成面技术

• 作者: 丁桂甫 倪智萍 张永华 杨春生 蒋振新
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 高深宽比光刻胶结构 熔融成型 二次涂胶定型 微弯曲面 任意形状表面
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 新工艺新技术
• 页码范围: 210-213
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 3746字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2003.05.008

摘要

熔融图形化的光刻胶是三维曲面微结构加工的常用方法,但是,一次成型的熔胶工艺制作的弯曲面曲率半径较小,为此我们提出了一种借助二次熔胶工艺实现微弯曲面成型的新工艺-多线成面技术.此方法工艺简单,一般具备光刻条件的实验室就能够实现,与传统工艺兼容性好,用它制作的弯曲面可以与灰阶掩膜光刻相比拟,介绍了该工艺的原理和特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨春生	上海交通大学微米纳米研究院薄膜与微细加工技术教育部开放实验室	33	314	10.0	16.0
2	丁桂甫	上海交通大学微米纳米研究院薄膜与微细加工技术教育部开放实验室	60	503	12.0	19.0
3	张永华	上海交通大学微米纳米研究院薄膜与微细加工技术教育部开放实验室	17	231	8.0	15.0
4	蒋振新	上海交通大学微米纳米研究院薄膜与微细加工技术教育部开放实验室	7	80	5.0	7.0
5	倪智萍	上海交通大学微米纳米研究院薄膜与微细加工技术教育部开放实验室	5	54	3.0	5.0