MEMS高温电容式压力传感器的研制与测试

• 作者: 冯勇建 徐肯 王绍清
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 高温 传感器 电容式 压力测试
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: 专题报道(半导体测试与设备)
• 页码范围: 8-11
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2374字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2004.11.004

摘要

介绍了一种用硅-硅键合MEMS技术制作的高温电容式压力传感器,并给出了详细的制作工艺.文中对测试装置、测试电路进行了介绍和深入分析,最后用此测试电路对制作的传感器器件进行了高温测试,测试结果表明这种微传感器可在低于350℃的条件下正常工作,且具有很大的线性工作范围、良好的稳定性和较高的灵敏度,其应用前景十分广阔.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯勇建	厦门大学微机电中心	103	953	15.0	26.0
2	王绍清	厦门大学机电工程系	4	36	3.0	4.0
3	徐肯	厦门大学机电工程系	4	36	3.0	4.0