水基前驱体法制备BST铁电薄膜的研究

• 作者: 刘颖 向飞 朱时珍 朱满康
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 BST薄膜 sol-gel 水基前驱体 钙钛矿相
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 61-64
• 页数: 4页
• 分类号: O484|TN304
• 字数: 3074字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2005.04.018

摘要

Ba1-xSrxTiO3(BST)薄膜具有非线性强、漏电流小、不易疲劳等特点,在高密度动态随机存储器的应用,受到了极大关注.以水基溶液为前驱体,调整Ti(OC4H9)4与H2O的配比以改变溶胶的黏度,并采用旋涂法制备了BST铁电薄膜.对水基BST前驱体溶液进行了DSC/TG和XRD分析.实验表明,采用较高浓度的水基前驱体,有利于薄膜的形成和均匀性.薄膜的相结构研究表明,随着退火温度的上升,BST薄膜的结晶度上升,而晶粒尺寸随之略有下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱满康	北京工业大学材料学院薄膜材料研究室	73	372	11.0	15.0
2	朱时珍	北京理工大学材料科学与工程学院	37	203	9.0	12.0
3	刘颖	北京理工大学材料科学与工程学院	57	506	10.0	21.0
4	向飞	北京理工大学材料科学与工程学院	3	13	2.0	3.0