脉冲真空电弧离子镀在不锈钢上沉积类金刚石薄膜的研究

• 作者: 严一心 周顺
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 脉冲电弧 摩擦系数 不锈钢
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 纳米技术和薄膜
• 页码范围: 15-18
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4|TB43
• 字数: 3101字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2005.04.005

摘要

利用脉冲真空电弧离子镀技术在3Cr13不锈钢上制备了类金刚石(DLC)薄膜,通过Raman光谱分析了膜的结构特征,采用摩擦磨损试验机测试了薄膜在不同载荷下的摩擦系数,运用划痕仪研究了膜基的结合强度.结果表明:所镀制的薄膜具有典型类金刚石结构特征,膜中ID/IG为1.33;摩擦系数随着载荷的增大而减小,载荷为5 N,转速120 r/min时的摩擦系数为0.12;Ti过渡层的引入显著地提高了膜基结合力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	严一心	西安工业学院薄膜技术与光学检测重点实验室	43	232	9.0	12.0
2	周顺	西安工业学院薄膜技术与光学检测重点实验室	32	113	6.0	8.0