具有非平面埋氧层的新型SOI材料的制备

• 作者: 刘勇 张波 李肇基 郭宇锋
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: SOI 平坦化 键合 埋氧层
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1415-1419
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.05
• 字数: 3064字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.09.017

摘要

提出一种基于SDB技术的非平面埋氧层SOI材料制备方法.其关键技术包括:通过干法刻蚀、高压氧化和淀积二氧化硅获得高质量非平面埋氧层;通过化学气相淀积多晶硅来形成键合缓冲层,并运用回刻光刻胶和化学机械抛光来实现键合面的局部和全局平坦化;通过室温真空贴合、中温预键合和高温加固键合来进行有源片和衬底片的牢固键合.基于该技术研制了有源层厚度为21μm、埋氧层厚度为0.943μm、顶面槽和底面槽槽高均为0.9μm的具有双面绝缘槽结构的非平面埋氧层新型SOI材料.测试结果表明该材料具有结合强度高、界面质量好、电学性能优良等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭宇锋	南京邮电大学光电工程学院	59	281	8.0	14.0
2	刘勇		32	121	6.0	9.0