多层结构微波毫米波薄膜电路制作工艺研究

• 作者: 王斌
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微波毫米波 薄膜 集成工艺 方块电阻
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 新工艺新技术
• 页码范围: 349-352,362
• 页数: 5页
• 分类号: TN45
• 字数: 3343字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2009.06.011

摘要

近年来,随着通信和侦察技术向更高频率发展,对诸如频谱分析仪、扫频信号源和网络分析仪等测试计量仪器提出了更高的要求.众所周知,作为这些微波测试计量仪器中的关键部件,薄膜混合集成电路是测试仪器向40 GHz以上发展的一个主要难点.微波毫米波工程中大量使用薄膜混合集成电路,这些电路是由多种材料组成的多膜层结构.研究了多层微波薄膜电路的材料性能、膜层结构特征及制作过程的工艺控制方法.还给出试验结果,并作了简单讨论,这对于微波和毫米波元器件的设计和应用有着一定的参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王斌		4	18	2.0	4.0