真空设备泄漏检测技术

• 作者: 丁永生
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 真空检漏仪 真空计 漏气 密封 真空室 挥发性气体
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 新工艺新技术
• 页码范围: 226-229
• 页数: 4页
• 分类号: TB77
• 字数: 3579字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2009.04.012

摘要

针对真空设备研制过程中和客户实际使用过程中真空设备出现漏气现象比较普遍,无法高效快速排除真空漏气的主要问题,结合工作实践经验,采用特种气体检测法、气泡检漏法和真空计检漏法三种技术,相互交叉结合使用,在最短时间内检出设备漏点,处理设备漏气问题,及时防护设备,节约生产维护时间.该技术具有直接性、快速性和便捷性,易学易懂.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁永生	中国电子科技集团公司第二研究所	4	4	1.0	2.0