新型L形梁压阻微加速度传感器

• 作者: 熊斌 高廷金
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 微加速度传感器 压阻 L形梁
• 年，卷（期）: 2009,（12）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(MEMS加工技术)
• 页码范围: 1177-1180
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2001字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2009.12.007

摘要

介绍了一种新型的基于MEMS体硅加工工艺的L形粱压阻微加速度传感器.在加工过程中采用Si-Si直接键合完成底板与传感器支撑框体之间的粘合,使得后续加工工艺更加简单;采用DRIE释放梁结构,从而保证了梁结构的完整性.分析了该传感器的结构参数和灵敏度,并用ANSYS进行了有限元模拟,同时介绍了其工艺流程,以及封装后的测试结果.芯片尺寸为3.8 mm×3.8 mm×0.82 mm,其中敏感质量块尺寸为2 mm×2 mm×0.4 mm,梁尺寸为2 200μm×100 μm×40μm.经初步测试,在采用5 V电源供电时灵敏度为0.5 mV/g左右,3 dB截止频率为520 Hz左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊斌	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	54	412	11.0	16.0
2	高廷金	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	1	5	1.0	1.0