利用图像处理技术检测统计硫化镉晶片微管数

• 作者: 陈馨
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 晶片 微管 缺陷统计 图像处理 阈值调节
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 半导体检测与设备
• 页码范围: 152-156
• 分类号: TN304.07
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2015.02.014

摘要

利用显微镜观察和统计晶体缺陷是一种常规的测试方法,但由于研发初期微管、孔洞等缺陷数通常较多且分布不均匀,统计起来非常费时费力.针对上述问题,介绍了一种利用MATLAB图像处理技术的硫化镉晶片微管检测计数的新方法.借助MATLAB图像处理工具箱,对微分干涉显微镜下的硫化镉晶片照片进行处理,编写晶片微管检测计数程序,统计评价区域内晶片的微管数,并且该程序具有手动调节阈值功能.研究结果证明,利用此方法统计的微管数准确度可达95％,借助图像处理技术检测统计微管数是一种高效、快速、准确的新方法,可实现检测、统计过程的自动化,是一种非常实用的技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈馨	中国电子科技集团公司第四十六研究所	1	2	1.0	1.0