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微纳电子技术2007年出版文献
出版文献量（篇）
3266
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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22
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16974
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151. 新型MOS晶体管式压力传感器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 在应力作用下,MOS晶体管的源漏电流的大小会随着沟道区所受应力大小而变化.基于MOS晶体管的这种力敏效应,采用晶体管和电阻构成压敏电桥,提出了一种新型的MOS晶体管式压力传感器.该器件在与目...
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152. 热稳定自旋阀磁传感器及其性能优化研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 对一种Ta/NiFeCr/CoFe/Cu/CoFe/MnIr/Ta结构的顶钉扎自旋阀进行了优化.对自旋阀各层材料在整个结构中所起的作用进行了分析,并通过实验,研究自旋阀中每一层的厚度对磁电阻...
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153. 一种新型挠性轴内置式扭摆微加速度计的设计刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 针对扭摆式加速度计的结构特点,为了有效利用硅片面积和提高质量块质量,设计了一种新型挠性轴内置于质量块的扭摆式加速度计,该结构具有检测电极和力反馈电极.根据结构设计参数,推导出中心敏感电容、等...
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154. GaAs基共振隧穿微加速度计的研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 研究了一种新型的GaAs基压阻式共振隧穿微加速度计结构.该微加速度计的压敏元件采用AlAs/In0.1Gao.9As双势垒共振隧穿纳米薄膜结构.加速度计的压敏元件和悬臂梁的加工分别利用空气桥...
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155. 空中三维电场传感器及其标定方法研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 空中电场是以三维矢量形式存在的,以往用于空中电场探测的电场传感器主要实现矢量电场的一个或两个分量的探测.介绍了一种新型的空中三维电场传感器,可实现空中矢量电场的三维检测,并对该三维电场传感器...
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156. 气体摆式倾角传感器流场影响因素分析刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 理论分析了密闭腔中自然对流气体稳态下的温度场和速度场对热敏丝的影响,给出了热敏丝电阻随温度和速度的变化关系.利用ANSYS软件计算了二维密闭腔体中点热源引起的速度场和温度场,并用流场计算结果...
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157. MEMS固态风速风向传感器的设计与制作刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 风速风向参数的测量在气象测量中占有重要的地位.基于MEMS技术的固态风速风向传感器具有体积小、重量轻、成本低的优点.设计了两种基于MEMS工艺的固态测风传感器,即硅薄膜式测风传感器和硅悬梁式...
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158. MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 基于MEMS的电容式压力传感器以其低成本高性能在气象测量中有着广阔的应用前景.利用ANSYS软件模拟接触式电容压力传感器的工作状态,得到硅膜的形变和应力分布状况.制作流程采用简单标准的工艺:...
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159. 一种新型谐振式微加速度计设计和分析刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 为提高谐振式加速度计的灵敏度,设计了基于两级微杠杆机构和DETF谐振器的新型谐振式微加速度计结构;用解析法分析了加速度计灵敏度和结构各参数之间的关系,并以此对结构参数进行了优化设计.理论计算...
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160. 一种新型并联梳齿驱动的静电型微继电器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 介绍了一种新型的、利用并联梳齿结构驱动的静电型微继电器及其制造工艺.通过优化并联梳齿结构的几何尺寸,可以使微继电器的阈值电压降低到5V.该微继电器的主体部分使用一套表面牺牲层标准工艺制造,同...
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161. 石英单基多谐振器力敏特性与加力方位的关系刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 根据石英晶体振动理论及力敏特性,在同一圆形晶体基片上设计制作了多个石英晶体谐振器.采用对径加力的方式,研究了这种石英单基多谐振器的力敏特性与加力方位的关系,并与传统的单基单电极谐振器的力敏特...
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162. 双通道声表面波转速传感器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 以声表面波中的陀螺效应为理论基础,通过数值计算获得了LiNbO3基底上声表面波波速随基底转动速率的变化,以此为依据设计了一种双通道声表面波转速敏感结构,制作出双通道声表面波转速传感器.通过实...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 提出了一种新的超磁致伸缩材料(GMM)和声表面波(SAW)谐振器构成的复合磁传感器,将磁场中GMM的应力应变传递到SAW谐振器上,改变其谐振频率,检测谐振频率进行磁场测量.推导了复合磁传感器...
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164. 抗恶劣环境的保偏光纤温度传感器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 基于应力型保偏光纤传输常数差对温度的敏感性并利用偏光干涉技术,提出了一种反射型保偏光纤温度传感器并推导出传感方程.在传感器中采用宽谱光源抑制了输入/输出光纤中偏振耦合引起的误差,特性分析表明...
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165. 旋转式硅微机械陀螺的研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 分析了旋转式硅微机械陀螺的工作原理,建立了该陀螺的数学模型,设计了其敏感结构,计算了陀螺振动元件三个轴向的转动惯量、弹性支撑梁扭转刚度、振动元件角振动阻尼系数等动力学参数,计算分析了陀螺的电...
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166. 一种小型电容敏感式加速度计的研制刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 利用弹性良好的铍青铜为材料制作加速度计中的敏感振动元件,研制出电容敏感式加速度计.设计了一种提取差动电容信号的检测电路.给出了电路中所使用的电子元器件,经分析求解得出了电路的输出电压和传感器...
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167. 梳状谐振式磁场传感器设计刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 给出了一种新型梳状微机械谐振式磁场传感器的设计.采用静电激励和静电检测,通过罗伦兹力的反馈将磁场的大小转变为频率输出.对结构模型进行简化,推导出了本征频率的计算公式并进行了ANSYS模拟.通...
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168. 一种硅梁谐振加速度计结构设计与模拟分析刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 为了提高谐振加速度计的灵敏度以及稳定性,提出一种基于微杠杆力学放大机构的硅梁谐振式加速度计结构,并对其进行了有限元模拟分析.该加速度计由两个静电激励电容检测的硅谐振梁组成差分输出,采用硅深刻...
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169. 二维MEMS风速风向传感器的设计与测试刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 给出一种基于MEMS工艺的二维风速风向传感器的设计、制造以及测试结果.该传感器加热电阻采用圆形结构,四个测温电阻对称分布在芯片四周.传感器芯片在玻璃衬底上采用两步MEMS剥离工艺加工,加工工...
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170. 硅压力传感器可靠性强化试验研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 为实现硅压力传感器的快速评价和快速提高传感器可靠性的目标,综合分析了国际上先进的可靠性强化试验理论与技术,并应用失效物理学原理,对硅压力传感器可靠性强化试验技术剖面进行了研究性评述.
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171. 复合压力传感器研制刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 为满足行业配套组件的发展需求,研制了一种新型复合压力传感器.该传感器采用分体结构设计,将压力信号转换成深度信号,利用精密的信号处理电路,将微弱的深度信号进行放大、比较等处理,可同时输出连续量...
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172. 压力传感器测试过程可靠性分析刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 根据压力传感器的实际测试过程中的各个环节已经或可能产生的影响,获取压力传感器真实性能输出数据的因素,采用可靠性的分析方法对其进行分析;提示了测试过程中影响传感器输出的规律,减小传感器因在测试...
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173. 压力开关传感器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 为了满足我国相关行业配套组件的迫切需要,研制了一种新型压力开关传感器.该传感器采用一体化结构设计,将小型压力传感器与机械式压力开关安装在同一压力腔内,共用同一个压力接口和信号接插件,能够同时...
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174. 小型共面接口压差传感器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 小型共面接口压差传感器是一种压力传感器,该传感器主要用于测量和控制两个油路压力差.该产品采用SOI硅晶圆材料制作硅压阻式压力敏感芯片,敏感元件的工作温度范围为-55～300℃,通过双芯体结构...
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175. GMR生物传感器的原理及研究现状刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： GMR生物传感器包括三个部分,即免疫磁性微球、高灵敏度GMR传感器以及相关读出电路.与其他生物传感器相比,它具有灵敏度高、分辨力强、价格低、市场普及潜力大、设备小型化及测量过程自动化等优点....
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176. 几种国产天然气传感器的性能对比及评价刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 通过对几种国产半导体天然气传感器与世界名牌FIGARO公司产TGS813的对比评价看出,尽管外观和响应特性上有很多相似之处,但在初期特性、温湿度特性、长期稳定性上还存在很大差距.从内部结构解...
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177. In2O3基NO2气体传感器的研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 利用化学沉淀法制备了In2O3粉体,采用X射线衍射(XRD)的方法得到了粉体的晶体结构,颗粒尺寸为纳米量级.以In2O3为基体材料,制作了烧结型旁热式气敏元件,通过固相掺杂的办法改善元件的气...
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178. 固体电解质CO2传感器的研究与进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 采用溶胶-凝胶法制备NASICON粉体材料,并利用XRD和IR对制得的材料进行表征.以NASICON粉体材料为基体,Li2CO3-BaCO3复合盐为敏感电极制作管式CO2气体传感器,并对其灵...
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179. 全固态CO气体传感器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 概括了目前CO气体传感器的国内外发展状况,提出了传统电化学气体传感器存在的问题,介绍了一种利用Nafion膜为固态电解质的CO气体传感器,阐述了它的工作原理.对电极材料、薄膜材料、固态电解液...
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180. 巨磁阻生物传感器阵列及专用锁相放大器设计刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： EW_GI是基于GMR(巨磁阻)传感器,用于检测血样中特种病毒的正在研发的生物芯片系统.叙述了其巨磁阻传感器阵列以及后端锁相放大IC电路的设计及实现.该阵列包含32个GMR传感器单元和2个传...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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吉林大学学报(信息科学版)
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磁性材料及器件
电波科学学报
电声技术
电讯技术
电子学报
电子学报(英文)
电力电子
电力系统通信
电路与系统学报
电气电子教学学报
电视技术
影视制作
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