微纳电子技术期刊
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
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  • 作者: 赵正平
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  1-11
    摘要: 2012年当量产的集成电路的特征尺寸进入22 nm时,三维晶体管新结构成为纳电子发展的主流,标志纳电子学的发展由应力Si时代进入三维晶体管时代.介绍了多栅晶体管的发展过程,包括双栅、鳍栅、P...
  • 作者: 崔焕卿 张明亮 杨晓阔 汪志春 蔡理 陈祥叶
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  12-16
    摘要: 模可变计数器是一种功能丰富、灵活性很强的时序逻辑电路.基于一种二维纳米尺度计算范例量子元胞自动机(QCA)设计了一种2位模可变计数器单元电路,该计数器由2个JK触发器和5个基本逻辑门构成.采...
  • 作者: 吴波 王伟杨 魏相飞
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  17-23
    摘要: 玻璃衬底多晶硅薄膜太阳电池因具有成本低廉、转换效率高以及性能稳定等优点引起了人们的广泛关注.详细阐述了玻璃衬底多晶硅薄膜太阳电池的两种典型结构、基本制备流程及其关键工艺对太阳电池性能的影响,...
  • 作者: 傅兴华 李丛飞 李良荣 赵海臣
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  24-29
    摘要: 应用扫描探针显微镜(SPM)技术实现了氧化物阻变薄膜局部区域高低阻态的互相转变.通过电激励、编程和擦除等操作,控制细丝的产生和断裂,实现了阻变薄膜局域的重复编程/擦除操作.用该方法分别研究了...
  • 作者: 刘昊 杨甜甜 王伟 胡权
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  30-33
    摘要: 使用匀胶法在ITO衬底上制备不同质量配比的聚乙烯基咔唑(PVK)/8-羟基喹啉铝(Alq3)复合薄膜,分别利用AFM和四探针法测量分析薄膜的成膜性能、表面形貌与低磁场强度电阻特性,研究分析在...
  • 作者: 刘国华 宗露香 徐进良
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  34-41,70
    摘要: 微通道沸腾不稳定性引起传热恶化,造成设备疲劳损坏.设计入口集成种子汽泡发生器的并行三角形硅基微通道热沉,搭建同步可视化测量实验台.研究高热流密度下不同触发频率种子汽泡抑制微通道内流动沸腾不稳...
  • 作者: 唐祯安 李美花 王心怡 闫卫平
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  42-47
    摘要: 根据介电润湿(EWOD)原理,建立了电润湿力与驱动电压的关系,提出一种基于聚酰亚胺介质的单平面微液滴驱动芯片设计方案.该芯片利用MEMS技术在铬版玻璃上分别制作出金属微电极阵列和聚酰亚胺介质...
  • 作者: 吕红亮 孙哲 张义门 张玉明 杨霏 汤晓燕 王悦湖 贾仁需 钮应喜
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  48-52
    摘要: 基于水平热壁化学气相沉积(CVD)技术,采用原位刻蚀方法,在3英寸(1英寸=2.54 cm) (0001) Si面零偏4H-SiC衬底上生长了高质量的同质外延层,并对其主要工艺参数和生长机制...
  • 作者: 丁桂甫 岳恒 张丛春 李建华 杨卓青 汪红 赵小林
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  53-58
    摘要: 主要研究了一种适用于微加工工艺的纳米多孔铜(NPC)制备方法.采用酸性柠檬酸铜锌电镀体系制备出Cu68Zn32前驱合金,通过改变前驱合金在盐酸中去合金的时间可以对NPC的微观形貌及孔径分布进...
  • 作者: 岳义 相文峰 董佳丽 贺卓 赵嵩卿 赵昆
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  59-65
    摘要: 基于国内外对于薄膜压电系数的研究成果,系统地综述了薄膜压电系数的测量方法,如正向压力法、圆片弯曲法、激光干涉法、悬臂梁法和显微镜法等,并对这些方法的基本原理、测试表征、应用状况及存在的问题进...
  • 作者: 任光远 张嵩 杨瑞霞 王如 王晓翠
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  66-70
    摘要: 为了得到高质量的GaN材料,首先在c面蓝宝石(Al2O3)衬底上射频磁控溅射不同厚度的ZnO缓冲层,然后采用氢化物气相外延(HVPE)法在ZnO缓冲层上生长约5.2 μm厚的GaN外延层,研...
  • 作者: 崔焕卿 汪志春 王森 蔡理 陈祥叶
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  73-77
    摘要: 基于半径为2的贝叶斯模型,量化分析了量子元胞自动机(QCA)扇出结构的转换特性.分析表明,采用半径为1的贝叶斯模型进行QCA转换特性分析将导致传输线正确概率的误差增大到40%,而半径为2的贝...
  • 作者: 余小刚 申惠娟 翁占坤 贾秀丽 骆明辉
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  78-82,119
    摘要: 综述了纳米技术在太阳电池中的应用及研究进展,包括染料敏化太阳电池(DSSC)、硅纳米太阳电池以及近年来成为研究热点的碳纳米管太阳电池等.分别针对二维硅纳米薄膜和一维硅纳米线在太阳电池中的应用...
  • 作者: 张培硕 张炳强 潘国峰 郭倩
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  83-88,104
    摘要: 采用溶胶凝胶法制备了纯TiO2和掺杂质量分数为5%,7%和9% CuO的TiO2纳米粉体,并对样品进行了不同温度(500,700和900℃)的退火处理.通过涂敷法制备成气敏元件,利用XRD和...
  • 作者: 杨业汕 许高斌 陈兴 马渊明
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  89-93
    摘要: 采用双槽(自制)电化学腐蚀法在p型单晶硅表面制备多孔硅(PS)层,利用AFM技术分析多孔硅的表面形貌.研究分析了电流密度为20~60 mA/cm2时,多孔硅的孔径、孔深和孔隙率,并分析测试了...
  • 作者: 李彦波 李文明 郑树凯 闫小兵
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  94-98
    摘要: 利用基于密度泛函理论的第一性原理计算了Mo单掺杂和Mo/S共掺杂锐钛矿相TiO2的能带结构、电子分态密度、电子密度和吸收光谱.结果表明,Mo单掺杂在锐钛矿相TiO2导带底下方引入了两条主要由...
  • 作者: 刘建秀 张段芹 褚金奎
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  99-104
    摘要: 针对静电吸附在微电子机械系统(MEMS)器件装配线中的潜在应用,试图研制一种单位面积上吸附力大和自身面积小的低工作电压静电吸片.通过介绍静电吸附现象的应用与传统静电吸盘,提出一种采用表面微加...
  • 作者: 姜利英 岳保磊 王芬芬 胡杰 闫艳霞
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  105-109,114
    摘要: 将一端标记具有可逆电化学行为的电活性基团二茂铁、另一端标记巯基的三磷酸腺苷(ATP)适体ss-DNA组装到薄膜金电极上,构筑了一种可灵敏检测ATP浓度的交流阻抗型适体传感器.首先研究了适体传...
  • 作者: 丑修建 关新锋 杨杰 郭涛 陈婷婷
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  110-114
    摘要: 设计了一种硅基压电功能材料的四悬臂梁-中心质量块结构MEMS振动式微能源器件,可将环境振动能量有效转化为电能.采用溶胶-凝胶法制备硅基锆钛酸铅(PbZr0.53 Ti0.47 O3,PZT)...
  • 作者: 王心语 童筱钧
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  115-119
    摘要: 为解决目前常用电容式湿度传感器存在的误差较大和一致性较差的问题,提出了采用常压化学气相淀积(APCVD)法制备的多孔SiO2膜作为吸湿材料的乐甫波声表面波(SAW)传感器感知湿度.基片采用4...
  • 作者: 檀柏梅 牛新环 甄加丽 赵云鹤 郭倩
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  120-125
    摘要: 在化学机械抛光(CMP)系统中,磨料是决定去除速率和表面状态的重要因素.在单一磨料下进行了单因素实验,在不同的压力、转速、流量和温度下对比了SiO2磨料和A12O3磨料对蓝宝石去除速率及表面...
  • 作者: 张洋 曹雅彬 朱浩
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  126-130,135
    摘要: 介绍了纳米陶瓷颗粒增强金属基复合材料的常用制备技术.对固相烧结法和液态铸造法等工艺方法的机理、特点和现阶段开发程度,以及由这些制备工艺所开发的新材料的优异的微观组织和力学性能进行了全面分析,...
  • 作者: 徐永青 杨志 杨拥军 胥超
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  131-135
    摘要: 研究了Au/Sn共晶圆片键合技术在MEMS气密性封装中的应用.设计了共晶键合多层材料的结构和密封环图形,盖帽层采用Ti/Ni/Au/Sn/Au结构,器件层采用Ti/Ni/Au结构,盖帽层腔体...
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  136-138
    摘要:
  • 作者: 崔焕卿 张明亮 汪志春 蔡理
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  141-145
    摘要: 择多逻辑门和反相器是量子元胞自动机(QCA)逻辑电路的基本组件.设计了两点量子元胞自动机(两点QCA)的传输线、择多逻辑门和反相器等基本逻辑器件.通过仅在信号沿竖直方向传递需要取反时用到水平...
  • 作者: 吴继荣 安宏 李学慧 李晓琦
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  146-150
    摘要: 以羰基铁粉为磁性颗粒、二甲基硅油为载液,添加聚乙烯吡咯烷酮、纳米SiO2和十二烷基硫酸钠,通过搅拌分散的方法制备磁流变液.采用自然观察法、SNB-1型数字式黏度计、MCR-301旋转流变仪和...
  • 作者: 付莉杰 史艳磊 孙同年 孙聂枫 李玉茹
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  151-155,167
    摘要: 介绍了国内外InP太阳电池的发展现状,对InP太阳电池的技术及其优势进行了分析.探讨了反向生长和低温键合对InP多结太阳电池质量的影响,指出其不仅可以降低位错等缺陷,提高太阳电池的转换效率,...
  • 作者: 何洋 杨儒元 苑伟政
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  156-160
    摘要: 实现了一种离心式微流控芯片上虹吸阀的快速设计及制备方法.通过分析力学基本原理,设计了一种离心式微流控芯片上虹吸阀结构.采用数控精雕在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)上直接加工出凹形结构,再通过溶...
  • 作者: 卞丰 曾祥伟 杜小振 赵继强
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  161-167
    摘要: 压电电磁集成发电是指利用功能材料的压电效应和法拉第电磁感应定律设计压电和电磁两种能量转换方式的集成结构,实现环境振动机械能向电能转换.描述了压电电磁集成微能源技术的原理和特点,介绍了压电电磁...
  • 作者: 唐玉宏 尚景玉
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年3期
    页码:  168-175,202
    摘要: 综述了现有溶解氧传感器的检测方法及原理,讨论了溶解氧传感器的热点研究方向,即基于荧光猝灭原理的无膜溶解氧传感器和微型全固态溶解氧传感器.着重介绍了微型全固态溶解氧传感器,指出该传感器使用微加...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

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2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

微纳电子技术统计分析

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