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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 干涉滤光片广泛应用于荧光检测分析仪器中,是仪器的核心光学元件.行业标准JB/T 13360—2018《荧光检测分析用干涉滤光片》对这类荧光滤光片产品的各项要求进行了系统规定.本文针对该标准中...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 综述了采用溶胶-凝胶法制备AZO薄膜的进展,阐述了影响AZO薄膜光电特性的主要工艺参数,分析了陈化时间、热处理工艺、铝掺杂量、催化剂种类及薄膜厚度因素等对AZO薄膜结构、光电性能的影响,指出...
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63. 超高真空大抽速复合分子泵的设计刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 本文介绍了一种超高真空大抽速复合分子泵的研制,该型分子泵转子采用了涡轮叶片与螺旋槽式牵引级的复合结构,由整体加工而成.文中重点介绍了复合转子的设计及优化,并对定片隔环一体型结构与复合底盘结构...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： KM6空间环境模拟器(简称"KM6容器")作为我国载人航天事业重要的大型试验设备已服役超过20年,完成了100次系统级真空热试验.粗抽真空系统是KM6容器重要的组成部分之一,主要作用是将KM...
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65. 大型风洞用离心真空泵气动设计刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 某大型风洞试验气体温度高、流量大,对真空排气设备要求高,传统风洞用真空排气设备无法满足要求,为达到减小规模、降低成本的目的,首次将大排量、高转速离心真空泵应用于风洞试验设备.本文根据风洞试验...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 在230MeV超导回旋加速器调束的过程中,需要对束流的大小形状和对中情况进行测量分析,束流测量装置可以满足上述要求.本装置利用径向靶和包络靶可以测量半径150mm到850mm范围内的束流,采...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 随着半导体器件封装向小型化、高密度化、高可靠性的方向发展,半导体等行业对钎焊热场提出了高温度均匀性的要求.本文以半导体器件钎焊设备为研究对象,利用有限元仿真技术分析炉体内部温度场分布及其变化...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 针对金属多孔材料真空烧结炉的工艺和控制要求,对原有控制系统进行了改造.采用工控机作为上位机并组态监控人机界面,可编程控制器(PLC)和温控仪作为下位机进行程序设计,提高原有系统运行的可靠性、...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 介绍了一种具有广泛应用前景的新型等离子体源—螺旋波等离子体源,其特点是结构简单,可以产生高密度的等离子体.论文首先简述了螺旋波等离子体产生基本原理,并对螺旋波等离子体源的结构、加热机制以及天...
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70. 模糊神经网络锅炉温度控制系统刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 采用模糊神经网络和PID控制相结合的控制方式,设计了一种现代电站锅炉的温度监测系统.通过BP模糊神经网络实现对数据的模糊化处理,再通过PID控制器调节,最终实现对温度实时控制,利用Simul...
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71. 微米级裂纹对水冷无氧铜坩埚的影响刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 本文主要使用了电子束物理气相沉积、扫描电子显微术、X射线衍射和有限元模拟等技术手段研究了微米级微裂纹对水冷无氧铜坩埚失效的影响.有限元模拟显示在使用过程中水冷铜坩埚的温度分布范围是33℃～1...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 水蒸气等离子体射流具有较高的安全性、富含羟基组分、良好的环保特性、工作介质廉价等优点,在危废处理和化学合成等领域具有显著应用前景.但由于水蒸气在输运过程中易冷凝,严重影响水蒸气等离子体发生器...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 通过一系列的刻蚀实验,研究了在反应离子刻蚀(RIE)过程中,CF4流量及射频功率等工艺参数对刻蚀硅基材料的影响,采用不同工艺条件,得出了对应的刻蚀速率、均匀性、选择比等刻蚀参数,并对结果进行...
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74. 超高真空和高真空技术的应用刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 真空技术应用领域的不断拓展促进了不同学科间的相互融合和交叉学科的诞生.超高真空和高真空技术的进步推动了半导体、航天航空、核电能源等高技术产业的发展,为人类的可持续发展提供了保障.近些年,真空...
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75. 第二十一讲真空卷绕镀膜刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： (接2021 年第3 期88 页) 2.5.1 真空镀铝工艺 塑料薄膜表面真空镀铝是应用最早也是最常见的一种蒸发卷绕镀膜工艺.纳米级厚度的铝膜牢固地附着在柔软的塑料基膜上,因其优良的耐折...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 全国真空技术标准化技术委员会(以下简称"真空标委会")于2021年6月23日-25日,在浙江省杭州市组织召开了"GB/T 3163《真空技术术语》修订暨ISO 3529标准转化工作组"工作会...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 2021年ISO/TC 112/WG2(真空测量装置)第二次工作组会议于6月29日(北京时间,19:00～22:00)顺利召开.鉴于全球疫情影响,根据ISO的相关规定,此次会议以ZOOM视频...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 简略介绍相对论和量子力学的基本原理,引用最新的新闻报导,论述真空科学技术在相对论和量子力学研究中的应用和最新进展.众所周知(包括没写入书本的内容)如:真空是宇宙之母,比宇宙大,比宇宙老;真空...
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79. 柔性电子器件疲劳特性的研究进展刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 柔性电子器件因其柔韧性好、集成度高、可设计性强和在可穿戴方面的潜在应用,成为近年来微电子的研究热点之一.目前,研究重点进展到器件在疲劳过程中的具体失效情况及在不影响电学性能的同时提高柔性,本...
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80. 分子层沉积纳米薄膜的现状和发展刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 随着微电子技术、锂离子电池和太阳能电池等行业的发展,人们对聚合物薄膜,尤其是纳米级聚合物薄膜的要求也越来越高.在传统的沉积方法不能满足要求的条件下,找到新的沉积聚合物的方法势在必行.分子层沉...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 直线等离子体装置(Linear Plasma Device,LPD)是研究托卡马克上边界等离子体与材料相互作用的重要平台.本文针对新建LPD的真空系统设计研制开展了相关研究.该真空系统设计为...
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82. O形橡胶圈真空密封性能有限元分析刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 真空容器通常采用O形橡胶圈配合矩形密封槽实现真空密封.本文介绍了O形橡胶圈真空密封的设计,利用ANSYS建立了O形圈两种矩形密封槽非线性有限元分析模型,研究了不同压缩率及真空度下O形圈Von...
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83. 专用电子束熔炼炉真空抽气系统设计刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 专用电子束熔炼炉需要大抽速、可靠性较高的真空系统,本文简要介绍了专用电子束熔炼炉真空抽气系统的主要性能指标、设计思路和方法、系统组成,对此真空抽气系统进行了详细的计算,并为类似真空设备的研制...
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84. 大口径真空插板阀优化设计刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 伴随我国航天及国防事业的巨大进步,更多关键和特殊的装备需要在真空环境下生产或试验,大型和特大型地面模拟设备开始研制和投入使用,对关键部件真空插板阀的要求也越来越高.由于真空插板阀的口径不断增...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 采用中频磁控溅射方法,在氧化铟(ITO)玻璃上采用氧化钨(WO3)陶瓷靶沉积薄膜,研究溅射气压对WO3薄膜结构与光学性能的影响规律,并对其电致变色行为进行了探讨.采用X射线衍射(XRD)和扫...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 本文采用射频磁控溅射法在Si(100)和石英衬底制备纯 β-Ga2O3和不同浓度的Si掺杂β-Ga2O3薄膜,并且研究Si掺杂对β-Ga2O3薄膜结构、表面形貌和光学性质的影响.X射线衍射(...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 为提高炭素材料的抗氧化性能,采用喷涂法在等静压石墨基体上制备了SiC涂层,研究了涂层浆料中硅、碳比例对SiC涂层物相组成、微观形貌以及抗氧化性能的影响.通过XRD、SEM和氧化实验分析表明:...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 等离子体雾化法是当前球形金属粉末制备最具前景的方法之一,但由于其使用的关键等离子体发生器产生的射流不稳的问题,制约着金属粉末制备批次的稳定性.等离子体射流的不稳定性主要来源于电弧的大尺度分流...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 为了验证接触器工作时发生振荡的主要区域,设计试验寻找接触器进入羽流工况的阈值条件,确认当"供气工质流量—放电电流"的比值超过10sccm/A时,接触器将会进入到羽流工作模式.在该区域中接触器...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 本论文展示了一种可调谐硅基外腔激光器,调谐范围在C波段(1540～1560nm),该激光器使用端面直接耦合(edge coupling)方式将SOA(Semiconductor Optica...
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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