机载雷达罩曲面FSS阵图形制作研究

• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: FSS雷达罩 图形蚀刻 图形电镀反贴
• 年，卷（期）: 1999,（6）
• 页码范围: 224-227
• 页数: 4页
• 分类号: TN959.73
• 语种: 中文

摘要

采用电镀铜箔蚀刻法和图形电镀反贴法,研究了雷达罩曲面FSS阵图形制作工艺,解决了液态光抗蚀油墨的立体涂布、底片分割贴装、旋转狭缝曝光及蚀刻问题;另外还解决了图形电镀、压模反贴问题.图形精度分别达到±0 .08 MM 和±0 .06 MM ,满足≤±0 .10 MM 的图形公差要求.