薄膜生长过程的分子尺度模拟

• 作者: 崔彩娥 张平则 张高会 潘俊德 缪强
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 分子动力学 Monte Carlo模拟
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 新工艺新技术
• 页码范围: 171-173
• 页数: 3页
• 分类号: TB13
• 字数: 3033字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2004.04.011

摘要

概述了薄膜生长过程分子尺度模拟的原理及方法,并对不同模拟方法的国内外研究现状进行了分析综述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘俊德	太原理工大学表面工程研究所	49	912	15.0	29.0
2	崔彩娥	太原理工大学表面工程研究所	48	459	12.0	20.0
3	缪强	太原理工大学表面工程研究所	11	209	8.0	11.0
4	张高会	太原理工大学表面工程研究所	15	689	11.0	15.0
5	张平则	太原理工大学表面工程研究所	15	589	10.0	15.0