波长计中运动导轨的稳速控制方法及实现

• 作者: 李成 王利强
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 迈克尔逊干涉 音圈电机 传递函数 PID 稳速
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 新工艺新技术
• 页码范围: 225-227,231
• 页数: 4页
• 分类号: TM57
• 字数: 1972字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2005.04.010

摘要

波长计要求导轨运行平稳,直线性好.导轨采用音圈电机拖动.音圈电机结构简单、维护方便、响应速度快.依据等效力学模型和等效电路模型,得到音圈电机位移-电压传递函数.采用PID调节器,实现音圈电机的稳速控制,满足波长计的运动要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李成		32	225	10.0	14.0
2	王利强		5	39	2.0	5.0