截止频率为218GHz的超高速晶格匹配In0.53Ga0.47As/In0.52Al0.48As高电子迁移率晶体管

• 作者: 刘亮 刘训春 宋雨竹 尹军舰 张海英 徐静波 李潇 牛洁斌
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 截止频率 高电子迁移率晶体管 InGaAs/InAlAs InP
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 1864-1867
• 页数: 4页
• 分类号: TN325.3
• 字数: 637字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.12.003

摘要

报道了截止频率为218GHz的晶格匹配的In0.53Ga0.47As/In0.52Al0.48As高电子迁移率晶体管.这是迄今为止国内报道的截止频率最高的高电子迁移率晶体管.器件直流特性也很优异:跨导为980mS/mm,最大电流密度为870mA/mm.文中的材料结构和所有器件制备工艺均为本研究小组自主研制开发.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐静波	中国科学院微电子研究所	15	55	4.0	6.0
2	张海英	中国科学院微电子研究所	114	574	11.0	17.0
3	尹军舰	中国科学院微电子研究所	31	99	6.0	7.0
4	刘亮	中国科学院微电子研究所	87	679	10.0	25.0
5	李潇	中国科学院微电子研究所	23	130	7.0	10.0
6	刘训春	中国科学院微电子研究所	43	222	9.0	11.0
7	牛洁斌	中国科学院微电子研究所	12	43	4.0	6.0
8	宋雨竹	中国科学院微电子研究所	2	10	1.0	2.0