绒面掺铝氧化锌薄膜的制备及其特性研究

• 作者: 侯春旺 刘菲 孟丽华 杨瑞霞 薛俊明 雷青松
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 中频脉冲磁控溅射 AZO薄膜 衬底温度 光电性质 绒面结构
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 半导体先进制造技术
• 页码范围: 858-862,893
• 分类号: TN304.055
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2012.11.008

摘要

采用磁控溅射法在较低温度下制备出室温电阻率为3.4×10-4Ω·cm,可见光范围内平均透过率为84％的掺铝的氧化锌(ZnO∶Al (AZO))薄膜.通过乙酸和盐酸溶液的腐蚀制备绒面AZO薄膜,利用X射线衍射(XRD)、紫外/可见光谱仪和扫描电子显微镜(SEM)研究了不同酸溶液及溶液浓度对薄膜微观形貌和光电性质的影响.XRD测量结果表明薄膜呈六角纤锌矿结构,且具有良好的c轴取向.UV-Vis紫外可见光谱结果表明薄膜具有良好的透过率.SEM结果表明使用盐酸溶液比乙酸更容易获得陷光的绒面结构,薄膜在质量分数为0.5％的盐酸中腐蚀25 s后形成了相对较好的绒面结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨瑞霞	河北工业大学信息工程学院	180	759	13.0	18.0
2	薛俊明		15	43	5.0	5.0
3	雷青松		9	35	4.0	5.0
4	刘菲	河北工业大学信息工程学院	5	4	1.0	2.0
5	孟丽华	河北工业大学信息工程学院	1	0	0.0	0.0
6	侯春旺		1	0	0.0	0.0