双阱CMOS器件单粒子瞬态效应机理研究

• 作者: 刘毅 张准 曹建民 王坤 贺凌翔 贺威 骆盛
• 来源期刊: 微电子学
• 学科: 工学
• 关键词: 单粒子瞬态 电荷收集 寄生双极放大效应 三维器件仿真
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 半导体器件与工艺
• 页码范围: 135-140
• 页数: 6页
• 分类号: TN432
• 语种: 中文
• DOI: 10.13911/j.cnki.1004-3365.170061

摘要

介绍了一种65 nm双阱CMOS工艺设计的六管SRAM单元的抗辐射性能.通过三维有限元数值模拟的方法,分析了SRAM单元的单粒子瞬态效应在NMOS管中的电荷收集过程和瞬态脉冲电流的组成部分,并提出一种高拟合度的临界电荷计算方案.双阱器件共享电荷诱发的寄生双极放大效应对相邻PMOS管的稳定性有着显著的影响,高线性能量传输提高了器件单粒子翻转的敏感性.电学特性表明,全三维器件数值仿真的方法能够有效评估因内建电势突变产生的瞬态脉冲电流.该方法满足器件仿真对精确度的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘毅	深圳大学光电工程学院	32	83	6.0	8.0
2	贺威	深圳大学电子科学与技术学院	23	56	4.0	6.0
3	张准	深圳大学光电工程学院	3	8	1.0	2.0
4	王坤	深圳大学光电工程学院	3	17	2.0	3.0
5	曹建民	深圳大学电子科学与技术学院	11	23	3.0	4.0
6	骆盛	深圳大学光电工程学院	1	0	0.0	0.0
7	贺凌翔	深圳大学光电工程学院	1	0	0.0	0.0