异形晶片倒角设备的设计及实现

• 作者: 马世杰
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 异形 倒角 视觉系统 坐标校正
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 新工艺新技术
• 页码范围: 174-177
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 3519字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14176/j.issn.1001-3474.2020.03.014

摘要

面对晶片制造对于异形晶片倒角工艺的新需求,介绍了异形晶片倒角设备的整体设计及倒角工艺流程,研究了异形晶片视觉处理和倒角路径自生成等关键技术.通过自主研发的倒角机进行异形晶片倒角实验,结果表明研发的倒角机实现了异形晶片倒角工艺,倒角精度满足工艺要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马世杰	中国电子科技集团公司第二研究所	6	21	2.0	4.0