微波产品除氢工艺方法

• 作者: 崔西会 方杰 李元朴 李波 王辉 许冰
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微波产品 氢含量 氢中毒 除氢
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 微系统技术
• 页码范围: 264-266
• 页数: 3页
• 分类号: TN605
• 语种: 中文
• DOI: 10.14176/j.issn.1001-3474.2020.05.005

摘要

针对微波产品中砷化镓芯片"氢中毒"问题,对微波产品常用原材料进行了氢含量测试及除氢工艺效果验证.试验结果表明,钼铜合金镀金载板、6063铝合金镀金盒体、高硅铝合金镀金盒体等微波组件常用原材料,使用本文的除氢工艺,可以达到很好的除氢效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王辉		53	189	8.0	12.0
2	李波		7	6	1.0	2.0
3	许冰		5	2	1.0	1.0
4	方杰		4	3	1.0	1.0
5	崔西会		7	9	2.0	2.0
6	李元朴		1	0	0.0	0.0