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近期国产半导体设备的观察与思考
近期国产半导体设备的观察与思考
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摘要：
介绍了近年来全球半导体设备和国内半导体设备现状,分析了国产半导体设备发展的机遇与挑战,对国产半导体设备的发展提出一些建议.
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半导体设备
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研究来源
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
电子工艺技术
主办单位：
中国电子科技集团公司第二研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
1001-3474
CN：
14-1136/TN
开本：
大16开
出版地：
太原市115信箱
邮发代号：
22-52
创刊时间：
1980
语种：
chi
出版文献量（篇）
2306
总下载数（次）
10
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