半导体技术期刊
出版文献量(篇)
5044
总下载数(次)
38

半导体技术

Semiconductor Technology

CAJSTAJSACSTPCD

影响因子 0.3579
《半导体技术》是由信息产业部主管,中国半导体行业协会、半导体专业情报网、中电科技集团公司十三所主办,业内权威的国家一级刊物之一。1976年创刊,它以严谨风格,权威著述,在业内深孚众望,享誉中外,对我国半导体事业的发展发挥了积极作用。“向读者提供更好资讯,为客户开拓更大市场”,是《半导体技术》的追求,本刊一如既往地坚持客户至上,服务第一,竭诚向读者提供多元化的信息。 《半导体技术》是中文核心... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
中国学术期刊光盘版《CAJ-CD》执行优秀期刊奖(03)  中国科技论文统计用刊  中文核心期刊 
ISSN:
1003-353X
CN:
13-1109/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄179信箱46分箱
出版文献量(篇)
5044
总下载数(次)
38
文章浏览
目录
  • 作者: 何建芳 董立松 陈文辉 韦亚一
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年9期
    页码:  641-649
    摘要: 当半导体技术节点缩小至14 nm及以下时,光刻技术也逐渐接近了其物理极限.光源掩模协同优化(SMO)作为一种新型的分辨率增强技术,能够显著提升极限尺寸下半导体光刻的重叠工艺窗口,有效延伸当前...
  • 作者: 傅雅蓉 徐娟 林殷茵
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年9期
    页码:  650-655,668
    摘要: 基于128 kbit AlOx/WOx双层结构阻变存储器(RRAM)芯片,提出并验证了还原时间对RRAM开关速度的调制作用,同时设计了一种固定电压幅值逐步增大脉宽的算法用于RRAM阵列中速度...
  • 作者: 周建伟 林鹏程 王雪原
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年9期
    页码:  656-662
    摘要: 峰值电流模式升压型直流-直流转换器在连续导通模式下,当占空比大于50%时会出现闭环不稳,产生次谐波振荡等现象,需进行斜坡补偿.讨论了斜坡补偿的意义,并设计了一种结构简单的电流检测和斜坡补偿电...
  • 作者: 叶凡 穆敏宏 陈勇臻
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年9期
    页码:  663-668
    摘要: 对模数转换器中的传统开关电路的导通电阻进行了详细的理论分析,提出了一种互补型栅压自举开关电路.该电路结构相比于传统开关,通过少量的功耗代价换取了更优的频域性能,在不同工艺角下具有更好的鲁棒性...
  • 作者: 张大成 张波 李泽宏 邓小社 郭绪阳
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年9期
    页码:  669-674,695
    摘要: 逆导型沟槽场终止绝缘栅双极型晶体管(RC Trench FS IGBT)是一种新型的功率半导体器件,具有成本低、体积小、可靠性高等优点.设计并实现了一款1200V逆导型沟槽FS IGBT.重...
  • 作者: 冉军学 张硕 曾一平 李晋闽 杜泽杰 段瑞飞 王军喜 魏同波
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年9期
    页码:  675-680
    摘要: 高质量AlN薄膜对制造高性能深紫外器件非常重要,但是目前还很难使用大型工业MOCVD生长出高质量的AlN薄膜.采用磁控溅射制备了不同厚度的用作成核层的AlN薄膜,使用大型工业MOCVD直接在...
  • 作者: 何雨龙 张艺蒙 文奎 杨帅 林希贤 郝俊艳
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年9期
    页码:  681-686
    摘要: 与传统硅基功率二极管相比,碳化硅肖特基势垒二极管(SiC SBD)可提高开关频率并大幅减小开关损耗,同时有更高的耐压范围.设计并制作了具有场限环结终端和Ti肖特基接触的1.2 kV/30 A...
  • 作者: 李金元 申雅茹 赵志斌 邓二平 黄永章
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年9期
    页码:  687-695
    摘要: 功率损耗一直是功率半导体器件应用时备受关注的问题.压接型绝缘栅双极型晶体管(IGBT)器件靠外部压力使内部各个组件保持电气和机械连接,因此压力直接或间接地影响着压接型IGBT器件的功率损耗....
  • 作者: 张韵 朱邵歆 李晋闽 王军喜 闫建昌 陈翔
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年9期
    页码:  696-700,716
    摘要: 采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)方法在2英寸(1英寸=2.54 cm)c面蓝宝石衬底上异质外延厚度1μm、具有原子级平整表面的高质量氮化铝(AlN)外延层.并在此高质量AlN薄膜...
  • 作者: 叶斌斌 徐真逸 徐科 李雪威 王建峰 董超 蓝剑越
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年9期
    页码:  701-705
    摘要: 以Ti/Al/Ni/Au作为欧姆接触金属体系,通过电感耦合等离子体(ICP)刻蚀的预处理,在氢化物气相外延法生长的单晶氮化镓(GaN)材料的N面实现了良好的欧姆接触,其比接触电阻率为3.7×...
  • 作者: 张洁
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年9期
    页码:  706-710
    摘要: 研究了在图形蓝宝石衬底(PSS)上利用磁控溅射制备AlN薄膜的相关技术,随后通过采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)在相关AlN薄膜上生了长GaN基LED.通过一系列对比实验,分析了AlN...
  • 作者: 张崤君 李含 郑宏宇
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年9期
    页码:  711-716
    摘要: 陶瓷材料具有优良的综合特性,被广泛应用于高可靠微电子封装.陶瓷倒装焊封装的特殊结构使得对其进行失效分析相较其他传统封装形式更为困难.针对一款在可靠性试验中发生开路的高密度陶瓷倒装焊封装器件,...
  • 作者: 蔡恩静 高金德 魏文
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年9期
    页码:  717-720
    摘要: 在28 nm低功耗工艺平台开发过程中,对1.26 V测试条件下出现的SRAM双比特失效问题进行了电性能失效模式分析及物性平面和物性断面分析.指出失效比特右侧位线接触孔底部空洞为SRAM制程上...

半导体技术基本信息

刊名 半导体技术 主编 赵小宁
曾用名
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共和国工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1003-353X CN 13-1109/TN
邮编 050002 电子邮箱 bdtj1339@163.com
电话 0311-87091339 网址
地址 石家庄179信箱46分箱

半导体技术评价信息

期刊荣誉
1. 中国学术期刊光盘版《CAJ-CD》执行优秀期刊奖(03)
2. 中国科技论文统计用刊
3. 中文核心期刊

半导体技术统计分析

被引趋势
(/次)
(/年)
学科分布
研究主题
推荐期刊