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微纳电子技术2018年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年8期页码:摘要： 零偏温度漂移是MEMS陀螺仪主要误差源之一,对MEMS陀螺仪零偏温度漂移误差源进行了分析.检测电路中延时相位的漂移是引起MEMS陀螺仪零偏温度漂移的主要原因.自时钟技术基于锁相环原理,将ME...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年8期页码:摘要： 利用静电纺丝技术制备了聚苯乙烯/氧化石墨烯(PS/GO)纳米纤维固相微萃取(SPME)涂层,分别研究了GO浓度对纳米纤维形貌的影响以及解吸温度、GO浓度和涂层厚度等参数对萃取性能的影响,比较...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年8期页码:摘要： 研究了核壳纳米颗粒的表面增强喇曼光谱(SERS),并制备了不同SiO2厚度的Au@SiO2核壳纳米粒子进行喇曼光谱分析测试.首先,采用化学还原法制备出酒红色的金溶胶溶液.接着,添加不同量的正...
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94. 软体机器人制造工艺研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年8期页码:摘要： 综述了软体机器人的制造工艺研究进展及目前主要的应用领域.其中详细介绍了3D打印技术、转印技术、形状沉积工艺、智能复合微结构法及微注塑成型等几种软体机器人制造工艺,探讨了各制造工艺的特点及所面...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年9期页码:摘要： 灵敏度是非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列(IRFPA)的一项重要性能指标.二极管结构的电压温度系数(VTC)对灵敏度有很大的影响.分析了二极管结构的设计参数和工艺参数对其电压温度系数的影响,...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年9期页码:摘要： 为探究退火温度对Mo/4H-SiC肖特基接触势垒不均匀程度的影响,对在不同退火温度下形成的Mo/4H-SiC肖特基接触进行了不同测试温度下的电流-电压(I-V)及电容-电压(C-V)测试,运...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年9期页码:摘要： 通过水热法制备3种尺寸的氧化铜(CuO)片状纳米结构,采用介电泳方法将所制备纳米结构定位到预先设计的Ti/Au电极上,以此为基础来构建湿度传感器并进行传感特性测试.实验结果表明:氧化铜纳米结...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年9期页码:摘要： 针对绝缘体上硅(SOI)压力传感器平模结构下压敏电阻所在区域应力跨度过大而导致的线性度降低问题,采用了岛膜结构改善敏感膜片表面的应力分布,使压敏电阻能够完全布置在应力集中区,从而提高传感器的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年9期页码:摘要： 声表面波(SAW)分选技术因其无接触性、生物相容性好等特点,在生物医学、诊断学等领域有着广阔的应用前景.概述了声表面波分选芯片的基本结构组成、叉指换能器(IDT)的基本结构及工作原理,分析了...
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100. RF MEMS开关的研究进展及其应用刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年9期页码:摘要： 射频微电子机械系统(RF MEMS)开关是射频电子系统中的关键器件,首先简要介绍了RF MEMS开关的结构特点及分类方式,综述了RF MEMS开关的发展现状,列举了国内著名科研机构具有代表性...
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101. 三种平面被动式微混合器的对比刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年9期页码:摘要： 主要通过数值模拟对比研究流率比和雷诺数的变化对Circle,Spiral和Tesla三种平面被动式微混合器混合效率的影响.通过混合指数、阻力系数及涡量等分析三种微混合器间的差异,发现Tesl...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年9期页码:摘要： 为了降低传统采血对人体的疼痛感和损伤,制备了采血微针阵列结构.该微针阵列结构是采用日本立命馆大学的同步辐射光源AURORA进行两次移动X射线光刻,在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)光刻胶上得到与...
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103. 新型5×5分束达曼光栅的设计与制作刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年9期页码:摘要： 基于理论设计了一种面内旋转对称的新型5×5分束达曼光栅,研究并优化了光栅制作中曝光、显影及深刻蚀等关键工艺参数.采用接触式曝光和感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术,在石英基底上制作出达曼光栅...
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104. 金刚石NV色心磁力计极限灵敏度优化方法刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年9期页码:摘要： 光探测磁共振(ODMR)信号作为氮空位(NV)色心磁力计进行磁检测的主要手段,其主要受到微波功率强度和激光功率强度的影响.对金刚石NV色心磁力计展开研究,根据其检测原理,探究其极限灵敏度优化...
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105. 气溶胶喷墨打印工艺参数对图案精度的影响刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年9期页码:摘要： 以商业纳米银颗粒墨水为打印材料,以钠钙玻璃为衬底材料,采用气溶胶喷墨打印工艺在衬底上打印形成银线.在搭建的气溶胶喷墨打印平台上,通过改变工艺参数探究不同工艺参数对银线线宽的影响规律.通过激光...
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106. 圆片级封装用玻璃通孔晶片的减薄工艺刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年9期页码:摘要： 对圆片级封装用玻璃通孔(TGV)晶片的减薄加工工艺进行了研究并最终确定出工艺路线.该减薄加工工艺主要包括机械研磨及化学机械抛光(CMP)过程.通过机械研磨,玻璃通孔晶片的残余玻璃层及硅层得到...
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107. 基于石墨烯的碘化锌储能器件的电化学性能刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年10期页码:摘要： 采用还原性氧化石墨烯(RGO)修饰的石墨毡(GF)作为碘化锌储能器件的电极.采用改进型Hummers法制备氧化石墨烯(GO),然后使用溶剂热法将其生长于石墨毡上,形成还原性氧化石墨烯修饰的石...
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108. 隧穿场效应晶体管的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年10期页码:摘要： 隧穿场效应晶体管(TFET)已成为低压低功耗半导体器件的一个重要发展方向,但是自身存在的问题使其目前难以在实际电路设计中得到大量应用,主要原因之一是其开态电流过小.对隧穿场效应晶体管进行了简...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年10期页码:摘要： 使用时域有限差分法(FDTD)研究了AlGaN纳米柱的光学性质.通过仿真分析了铝组分的变化对纳米柱内外光场强度的影响.结果表明,在固定纳米柱尺寸条件下,纳米柱内部场强随铝组分显著变化,最大相...
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110. 镜像对称三元磁流体光子晶体的磁场传感特性刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年10期页码:摘要： 基于磁流体的折射率可随外磁场的变化而变化,提出利用磁流体M和两种传统的电介质材料H(高折射率介质)和L(低折射率介质)构成镜像对称三元光子晶体结构来实现磁场传感.基于这3种材料构成了6种不同...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年10期页码:摘要： 介绍了一种基于微波环形谐振器的氨气监测的气体传感器,通过天线测试其谐振频率随气体体积分数的变化完成感测操作.环形谐振器是通过丝网印刷工艺将其制备在氧化铝基底上,采用碳纳米管与聚苯胺杂质作为气...
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112. 基于PZT纳米纤维柔性压力传感器的研制刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年10期页码:摘要： 设计制作了一种柔性压力传感器,以聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)作为柔性基底,用静电纺丝技术制备的锆钛酸铅(PZT)纳米纤维作为敏感材料.将PZT纳米纤维铺设到带有氧化铟锡(ITO)叉指电极的...
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113. MEMS固体波动陀螺谐振子现状及发展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年10期页码:摘要： 提高微机电系统(MEMS)固体波动陀螺仪性能的一个根本技术就是高品质因数(Q值)技术,分析了现有陀螺仪常用敏感元件(谐振子)和材料(熔融石英和硅等)的优缺点,发现要想进一步提高谐振子的Q值,...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年10期页码:摘要： 采用溶胶-凝胶工艺研究了不同退火温度和气氛下PbZr0.3Ti0.7O3 (PZT)薄膜的晶格结构和表面形貌.在空气中600～700℃退火时,薄膜完全结晶,结晶取向由(100)方向逐渐向(1...
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115. 开尔文探针力显微镜的应用研究现状刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年10期页码:摘要： 开尔文探针力显微镜(KPFM)是一种能够对众多材料表面电势纳米级成像的独特工具.首先介绍了开尔文探针力显微镜的基本工作原理和系统的建立.系统综述了开尔文探针力显微镜的国内外应用研究现状,包括...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年10期页码:摘要： 利用离子注入法将Ni离子注入到金属有机化学气相沉积(MOCVD)法制备的p-GaN薄膜中,制备出了GaN基稀磁半导体材料.采用X射线衍射仪(XRD)、扫描显微镜(SEM)和振动样品磁强计(V...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年10期页码:摘要： 氮化镓高电子迁移率晶体管(GaN HEMT)在材料生长和工艺制备方面已取得了巨大的进展,但增强型器件的制备仍是限制其广泛使用的重要原因.归纳了目前制备增强型器件的几种方法:p型栅、F离子注入...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年10期页码:摘要： 利用退火工艺在MOCVD-GaN基片表面制作TiN网栅,同时基片可形成疏松的多孔GaN结构.退火过程中温度越高、氢气分压越大,所形成的孔隙越大越深.高温下GaN分解的Ga因与H结合成为气相而...
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119. 一种基于超材料的常温太赫兹探测器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年11期页码:摘要： 基于超材料结构设计、制造并表征了一款工作在2.5 THz频率下的常温太赫兹探测器,该探测器上电场耦合电感电容(ELC)结构的超材料谐振子阵列吸收太赫兹辐射后,将电磁能转换为热能,温度升高后引...
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120. 旋转电场驱动纳米金属线运动研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年11期页码:摘要： 为探索纳米金属线在旋转电场作用下的运动特征,研究在旋转电场电压幅值一定、不同频率条件下,纳米金属线在不同电导率KC1溶液中的转速.选取长度为6～7 μm、半径为0.025 μm的纳米金属线为...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
微纳电子技术统计分析
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吉林大学学报(信息科学版)
重庆邮电大学学报(自然科学版)
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磁性材料及器件
电波科学学报
电声技术
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电子学报
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电力电子
电力系统通信
电路与系统学报
电气电子教学学报
电视技术
影视制作
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