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微细加工技术

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Microfabrication Technology

CSTPCD

《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。

主办单位：

中国电子科技集团公司第48研究所

期刊荣誉：

国家一级检索刊物用刊 美国工程信息公司Ei数据库收录

ISSN：

1003-8213

CN：

43-1140/TN

出版周期：

双月刊

邮编：

地址：

湖南省长沙市

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热门刊内文献

年度刊次

61. 电子束环氧基负胶的曝光反应机理分析

作者：卢文娟孔祥东张玉林

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年5期

页码: 1-4,30

摘要：从高分子辐射化学的角度对电子束环氧基负胶曝光的实际反应机理进行了深入的分析研究.通过Charlesby-Pinner关系式推导得出辐射交联反应中一些表征量(溶胶分数等)与辐射剂量的定量关系....
62. 环境因素对微纳加工中精确定位影响的研究

作者：张波薛虹

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年5期

页码: 5-9,30

摘要：以双频激光干涉仪在电子束曝光机精确定位中的运用为例(其具有典型的代表性),研究环境因素对微纳加工中精确定位的影响,并针对温度是其中影响最大的因素,提出了一种实时温度补偿方法,修正了测量结果由...
63. 电子束直写中X射线光刻掩模的热形变研究

作者：尚鸿雁王永坤

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年5期

页码: 10-13,25

摘要：对X射线掩模电子束制备图形过程建立三维有限元模型,提出用热流密度等效法简化瞬态热应力计算,得到了X射线掩模在电子束直写过程中的瞬态热形变.结果表明,掩模面内形变在直写过程中出现振荡变化,最大...
64. 飞秒激光应用于合金材料微细加工的试验研究

作者：刘世炳刘勋左铁钏陈涛

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年5期

页码: 14-17

摘要：利用飞秒激光对H62黄铜、lCr18Ni9Ti奥氏体不锈钢和7075铝合金进行加工,研究了激光参数和试验条件对三种合金材料的微细加工效果的影响.试验研究内容包括脉冲扫描速率与刻蚀宽度和深度的...
65. 光刻机试验运动装置振动信号的时频分析

作者：吴运新杨辅强邓习树隆志力

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年5期

页码: 18-21

摘要：步进扫描光刻机在工作状态下振动特性的好坏对其性能起着重要作用.为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,设计了一种步进扫描光刻机模拟试验运动装置,它能够完全再现步进扫描光刻机的运动特点.在此...
66. 微细工件的高频群脉冲ECLM试验研究

作者：付伟张之敬温楠

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年5期

页码: 22-25

摘要：进行了基于光刻技术的高频群脉冲微细电化学薄片加工(ECLM)试验研究.对于微细薄片型金属工件而言,在高频(20 kHz)、群脉冲形式的电压作用下,采用复合成分的电解液,选取合适的电化学加工参...
67. 基于AFM的多图层图形加工

作者：李晓娜韩立

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年5期

页码: 26-30

摘要：基于AFM阳极氧化加工理论,对AFM阳极氧化加工技术在多图层图形结构加工制造中的应用开展研究.提出一种新型的基于标记对准的套刻对准方法,并应用具有高分辨率的游标对图形的套刻对准精度进行直观、...
68. 氨化Si基Ga2O3/Ta薄膜制备GaN纳米线

作者：庄惠照张晓凯李红杨兆柱秦丽霞薛成山陈金华

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年5期

页码: 31-33,51

摘要：利用磁控溅射技术在Si衬底上制备Ga2O3/Ta薄膜,然后在900℃、氨气中退火合成了大量的一维单晶氮化镓纳米线.用X射线衍射、扫描电子显微镜、傅里叶红外吸收光谱、透射电子显微镜、选区电子衍...
69. 基于多种群遗传算法的膜系优化设计

作者：刘磊金伟华金春水

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年5期

页码: 34-38

摘要：在膜系设计中采用多种群遗传算法,以希望提高计算的效率和结果的可靠性.利用该算法进行膜系优化设计,并与一般遗传算法比较,计算结果表明,多种群遗传算法能够显著提高膜系设计中计算的效率和可靠性,有...
70. Al掺杂的ZnO薄膜的XPS谱和光学特性研究

作者：冯世娟常仁杰方亮李丽李秋俊陈希明

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年5期

页码: 39-43,47

摘要：采用直流反应磁控溅射法在玻璃基底上用Zn(99.99%)掺A(1.5%)靶制备出高质量的Al掺杂的ZnO(AzO)薄膜.利用X射线光电子能谱仪和紫外,可见光分光光度计分别对制备的AzO薄膜进...
71. 90 nm技术节点硅栅的干法刻蚀工艺研究

作者：刘明张庆钊朱效立李兵谢常青马杰

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年5期

页码: 44-47

摘要：进入90 nm工艺节点以后,在等离子体干法刻蚀工艺中出现了越来越多需要解决的技术性问题,带有图形的晶片(相对于白片而言)上的膜层结构设计和刻蚀工艺参数的优化技术变得越来越重要.重点以具有栅氧...
72. 硅基铂钛夹层AAO多孔模版制备半导体量子线

作者：张晋王光灿王清理郭志超

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年5期

页码: 48-51

摘要：制备一种新型硅基铂钛夹层AAO模版,并用这种模版制备量子线阵列.在硅基上依次用电子束蒸镀铂膜、钛膜和铝层,把在草酸溶液中阳极氧化制备AAO模版的方法,移植到制备这种模版中.再用这种模版直流电...
73. 微细电解加工中工具电极的制备及应用

作者：张朝阳朱荻王明环王磊

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年5期

页码: 52-55,60

摘要：超微细电极的获得和工艺过程控制是电化学加工的关键,给出了超微细电极制备及其在高精度三维金属结构加工中的应用研究结果.采用电化学腐蚀法制备微细电极,通过测量回路中的电阻变化值控制电极直径,加工...
74. 基于UV-LIGA技术的电磁型射频MEMS开关的集成制作

作者：丁桂甫张永华欧阳炜霞汪红蔡炳初赖宗声

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年5期

页码: 56-60

摘要：电磁型MEMS开关比静电式的结构复杂,一体化集成加工困难.对于新型电磁驱动双稳态RF MEMS开关进行了材料的选择,并对一些主要材料的电镀和悬空结构的制备与释放进行了工艺优化研究.经过工艺整...
75. 双向横向热执行器结构设计

作者：单建华孔德义林丙涛梅涛汪小华褚家如

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年5期

页码: 61-64

摘要：在传统非对称冷热梁结构横向热执行器的基础上,提出了一种能实现双向横向运动的热执行器.采用对称结构设计,主要由折叠柔性梁、直柔性梁、宽梁和连接梁构成,通过选择加热臂,可以控制结构的偏转方向,实...
76. 电子束曝光控制软件系统设计与实现

作者：宋志张今朝韩立魏淑华

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年6期

页码: 1-4

摘要：电子束曝光系统作为复杂半导体加工设备,需要功能强健的控制软件系统来保证其正常运行.介绍了具有自主版权的EB(electron beam)writer电子束曝光控制软件系统,它由版图绘制模块、...
77. 中能离子注入机用静电吸盘

作者：孙雪平肖仁耀

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年6期

页码: 5-7

摘要：简要介绍了静电吸盘的工作原理,理论分析了六相静电吸盘的工作模式,对静电吸盘进行了结构设计和制作工艺研究,并对静电吸盘的工艺性能尤其是静电吸盘在不同压力的氮气冷却性能进行了研究.实验结果表明....
78. 激光聚焦扫描扇区掩模制作光电码盘新方法

作者：王肇志罗正全胡松赵立新

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年6期

页码: 8-11

摘要：为了改进光电码盘的制作工艺,提高效率,降低成本,提出了一种光电码盘的光刻方法.通过计算机控制激光聚焦扫描扇区掩模制作来选择扇区掩模的码道,采用光学光刻的方法制作码盘,取消了传统码盘光刻的精缩...
79. ICP刻蚀技术在808 nm激光器中的应用

作者：王致远

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年6期

页码: 12-14

摘要：主要研究了GaAlAs/GaAs多层结构波导的ICP(inductiveIy coupled plasma)刻蚀,评述了使用PECVD制作的SiO2做掩膜的优点,分析了气体选择比对侧向钻蚀控...
80. 柔性衬底上六噻吩薄膜的有序生长

作者：梁氏秋水沐俊应陈振兴

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年6期

页码: 15-17,39

摘要：采用石英晶体微天平实时监测薄膜生长速率,控制衬底温度和生长速率,分别在柔性聚乙烯吡咯烷酮(PVP)绝缘层和柔性氧化铟锡(ITO)透明导电层上真空蒸发沉积了分子有序排列的六噻吩薄膜.X射线衍射...
81. 蓝宝石衬底上二维亚波长增透结构的设计分析

作者：刘正堂徐启远李阳平闫峰

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年6期

页码: 18-20

摘要：利用等效介质理论、薄膜理论研究了二维亚波长结构的增透设计,以蓝宝石衬底为例,研究了二维亚波长结构的增透设计,分析了该结构的周期、占空比、高度等参数对增透率的影响,通过分析找到了合适的结构参数...
82. 等离子辅助化学气相沉积制备可延展的硅薄膜

作者：谢凯韩喻

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年6期

页码: 21-23

摘要：利用等离子辅助化学气相沉积方法在单晶硅基底表面制备出可延展的硅薄膜.通过对薄膜生长过程的观察,确定延展性是最终脆性硅薄膜生长的中间状态,实验证明,沉积层表现出的延展性与螺旋带等柔性材料存在本...
83. Zn1-xCoxO纳米复合薄膜的磁特性

作者：任妙娟唐海马张军赵鹏

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年6期

页码: 24-26

摘要：用磁控溅射交替沉积和退火的方法制备了不同Co含量的ZnO纳米颗粒薄膜Zn1-xCoxO,并研究了其磁特性.发现室温下的比饱和磁矩随Co含量x(体积比)的减小而单调下降,矫顽力在x=0.5附近...
84. 蓝宝石衬底的化学机械抛光工艺研究

作者：赵之雯

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年6期

页码: 27-30

摘要：由于蓝宝石衬底片的精密加工工艺复杂,最优工艺参数尚未明确,是目前国内重点研究的难题.采用X62 81521型抛光机对蓝宝石衬底片的精密加工技术一化学机械抛光工艺进行了研究.通过对蓝宝石抛光工...
85. 反相微乳法制备锆锰掺杂六铝酸盐催化剂的研究

作者：余倩余林凌伟军孙明张绮旎江东权王苑娜莫春生

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年6期

页码: 31-34

摘要：利用三相图确定了稳定的OP-10乳化剂/正丁醇/环己烷/水反相微乳体系,并采用反相微乳法和超临界干燥技术制备了纳米锆锰掺杂六铝酸盐催化剂.X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、比表...
86. 微细电铸电流密度的有限元分析

作者：何冀军朱学林李国锋王翔黄文浩

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年6期

页码: 35-39

摘要：微细电铸过程中,阴极表面的电流密度分布直接影响沉积层的质量.通过对电沉积基本原理的分析,得到了电流密度及其分布对电沉积过程和沉积层质量的影响关系,结果表明,阴极表面金属层的沉积速率与电流密度...
87. 短讯两则

作者：

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年6期

页码: 39,44

摘要：
88. 一种基于薄膜体声波谐振器的高灵敏度质量传感器

作者：周海峰李侃董树荣韩雁马绍宇

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年6期

页码: 40-44

摘要：介绍了一种针对于生物传感应用的薄膜体声波谐振(thin film bulk acoustic resonator,FBAR)质量传感器.薄膜体声波谐振器谐振频率非常高(能够达到几兆赫兹),同...
89. 一种新型的全局互连结构及其加工方法

作者：刘兴刚张丛春杨春生石金川

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年6期

页码: 45-47

摘要：随着特征尺寸的缩小,互连成为制约集成电路性能提高和成本下降的主要因素.为了降低互连延迟,提出了一种全新的全局互连结构,即利用掩膜电镀和CMP技术形成三维的铜互连结构,再利用牺牲层技术将三维结...
90. 磁头滑块的湿法与干法刻蚀实验研究

作者：孟永钢李宁林晶谭晓兰

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年6期

页码: 48-51,56

摘要：主要研究了计算机硬盘磁头滑块的微加工实验方法.首先以一种典型的磁头滑块结构为例,进行了掩模版的设计与制作;然后利用光刻、湿法刻蚀和干法刻蚀的工艺及设备,分别进行了该磁头滑块结构的湿法和干法刻...

微细加工技术基本信息

刊名	微细加工技术	主编
曾用名
主办单位	中国电子科技集团公司第48研究所	主管单位
出版周期	双月刊	语种	chi
ISSN	1003-8213	CN	43-1140/TN
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