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真空

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Vacuum

曾用名：真空技术报导

CA CSTPCD

影响因子 1.1128

本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。

主办单位：

中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所

期刊荣誉：

中国期刊网、光盘国家工程中心用刊 工程技术类核心期刊

ISSN：

1002-0322

CN：

21-1174/TB

出版周期：

双月刊

邮编：

110042

地址：

辽宁省沈阳市万柳塘路2号

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热门刊内文献

年度刊次

1. 气体微流量测量技术的发展

作者：冯焱宋瑞海张涤新成永军赵澜

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 1-6

摘要：本文介绍了美国NIST、德国FIB、日本NMIJ、意大利IMGC、韩国KRISS、中国计量科学研究院NIM和国防科技工业真空一级计量站(兰州物理研究所LIP)的气体微流量测量技术的研究进展,...
2. 会议消息

作者：

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 6,33,14

摘要：
3. 镀膜设备真空系统主泵的配置

作者：杨静陈素君

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 7-10

摘要：真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分,其主泵的选择对真空性能影响很大,真空镀膜设备的发展要求真空性能清洁无油,动态抽速大,传统的以油扩散泵为主泵的设备不能满足要求,本文叙述了油扩散泵、分子泵...
4. EAST超导托卡马克装置真空抽气系统

作者：余耀伟吴金华唐明左贵忠庄会东李加宏王厚银王小明王玲胡建生陈跃

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 11-14

摘要：真空系统在EAST全超导托卡马克装置中是非常重要的组成部分,它主要由内真空室抽气系统和外真空室抽气系统组成.内真空室抽气系统主要由主抽系统、偏滤器抽气系统、低杂波抽气系统组成,主要为等离子体...
5. 液环真空泵转子力学性能的数值分析

作者：吴泰忠王宏君管俊谭紫华黄思

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 15-18

摘要：液环真空泵是广泛应用于石油、化工、冶金、矿山、电力、轻工等行业的基础设备.其转子(叶轮和泵轴)是泵传递扭矩的关键零件之一,它的失效将直接导致整个机组停止工作.因此,对转子强度的计算和校核是进...
6. 真空绝热板内部真空度的影响因素分析及改善措施

作者：张宁杨春光邵雪高霞

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 19-22

摘要：本文介绍了真空绝热板的绝热性能与板内真空度的关系,具体分析了影响真空度的因素,论述了气体渗透和内部芯材放气的机理及对板内真空度的影响情况,探讨了减少气体渗透和放气的途径和要求,指出了提高板内...
7. 硅掺杂类金刚石薄膜表面性能研究

作者：丁建宁刘翊田琨范真辛喜玲

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 23-25

摘要：本文使用原子力显微镜考察了硅掺杂类金刚石薄膜的表面形貌及粗糙度,同时分析了薄膜表面的粘附力和微观摩擦力学性能.实验表明,随着基底负偏压的增加,薄膜的表面粗糙度值逐渐减小;摩擦力和外加载荷成线...
8. 多孔ZnO薄膜结构与光学性能研究

作者：付志伟夏志林彭桦李展望薛亦渝郭培涛

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 26-29

摘要：采用sol-gel提拉法,以聚乙二醇(PEG2000)为模板剂,醋酸锌为前驱体,乙醇为溶剂,二乙醇胺为络合剂,在玻璃基片上生长了多孔ZnO薄膜,利用SEM和紫外分光光度计分析了多孔ZnO薄膜...
9. 磁控溅射法制备BiFeO3/CoFe2O4多铁性复合薄膜及其铁电铁磁性研究

作者：于明泽叶勤邓检

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 30-33

摘要：用磁控溅射法在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上成功制备了BiFeO3(BFO)/CoFe2O4(CFO)层状结构磁电复合薄膜,测试结果显示此磁电复合薄膜在室温下同时存在铁电性和铁磁性.在...
10. 中频磁控反应溅射AlN薄膜及微观结构研究

作者：杨雄段丽翁卫祥袁军林郭太良陈勇

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 34-38

摘要：采用中频磁控反应溅射工艺进行了氮化铝薄膜的制备,对沉积速率、晶体结构和表面形貌与氮气流量和溅射功率之间的变化关系进行了研究.结果表明,通过调节N2流量和溅射功率选择性地获得非晶态和沿着c轴方...
11. 不同铝掺杂量ZnO薄膜性能的研究

作者：姚宁王海燕穆慧慧薛进奎赵会仙邢宏伟

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 39-42

摘要：以铝掺杂质量分数为1%、2%、3%的Zn/Al合金为靶材,采用直流反应磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了不同铝含量ZnO:Al(AZO)透明导电薄膜.研究了衬底温度对AZO薄膜电学性能的影响;同...
12. 磁控溅射法制备铁氧体薄膜的界面结合强度研究

作者：徐小玉黄之德

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 43-45

摘要：利用磁控溅射法在单硅晶基底和玻璃基底上沉积铁氧体薄膜,采用AFM观察薄膜的微观形貌,采用划痕法测试薄膜的界面结合强度,测试结果表明:由于两种不同材质上沉积的薄膜粗糙度缘故,硅晶铁氧体薄膜的临...
13. 微晶硅同质结薄膜太阳电池的数值模拟分析

作者：卢景霄杨仕娥赵明利陈永生

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 46-50

摘要：采用太阳电池电容模拟软件(简称SCAPS)对p-i-n结构的微晶硅同质结薄膜太阳电池进行了数值模拟.研究了本征层的厚度和缺陷态浓度及窗口层的厚度等参数对电池性能的影响.得到的主要结论如下:(...
14. 织构ZnO:Al与p-μc-Si:H薄膜接触特性的研究

作者：吴芳王子健王海燕赵先林高哲

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 51-54

摘要：用PECVD法在不同织构ZnO:Al上沉积了p-μc-Si:H薄膜,研究了不同织构ZnO:Al与p-μc-Si:H薄膜的接触特性,研究结果表明:在织构后的ZnO:Al上沉积的p-μc-Si:...
15. ZJK-β型真空计的设计及其性能研究

作者：孙冬花温永刚王丽红王荣宗陈光奇陈联

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 55-58

摘要：介绍了ZJK-β型真空计的工作原理、结构设计,并对其性能进行了研究.该仪器和β放射电离规配用,用于火箭共底压力测量,测量范围为0.1～5000 Pa.仪器采用单片机控制,能够实现量程自动转换...
16. 书讯

作者：

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 58,38,50

摘要：
17. 氦质谱检漏仪现场校准方法研究

作者：冯焱卢耀文张涤新徐婕成永军李莉盛学民赵澜

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 59-62

摘要：目前,用户采用单只标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准,由于受检漏仪线性范围的影响限制,不能对其全量程范围进行校准.为了满足对氦质谱检漏仪全量程范围内的现场校准,将一系列不同量级漏率的薄膜渗氦型标...
18. 空间用FM08系列熔断器漏率研究与仿真分析

作者：党炜吕从民徐晓宇高宜桂

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 63-67

摘要：为保证空间用FM08系列熔断器在规定的任务时间内不因密封原因失效,必须制定合理的漏率指标.本文从漏孔的气流特性出发,研究并建立了FM08系列熔断器真空泄漏数值模型.在此基础上,对允许漏率、气...
19. 真空内扭摆磁铁的内真空盒对高次模发热的抑制作用

作者：肖琼

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 68-70

摘要：介绍了BEPCⅡ真空内扭摆磁铁的内真空盒系统.当BEPCⅡ在对撞模式下运行时,真空内扭摆磁铁的间隙拉开到最大值,将内真空盒推入磁极中间,可以使上下游真空盒实现连续光滑的RF过渡,从而降低束流...
20. 5kW弧电源的设计与仿真

作者：李民久王晨曦陈庆川

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 71-74

摘要：介绍了开关电源的优点和大功率弧电源的结构,给出了以SG3525为控制核心的弧电源的设计方法.该电源主电路采用全桥式逆变电路,应用平均电流模式控制的PWM调制技术实现电流的稳定输出.并应用Or...
21. 专家系统中知识库与工艺曲线动态修改的研究

作者：于继龙刘献礼刘秀英陈涛韩海英

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 75-78

摘要：知识库构建的适当与否直接关系到专家系统的推理效率和使用情况.本文介绍了精密复杂刀具真空热处理专家系统中知识的表示和知识库的构建;总结了影响真空热处理工艺参数的因素,以专家知识的形式存储在知识...
22. 阴极弧离子源磁过滤器的磁场设计与数值模拟

作者：王世庆许丽

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 79-82

摘要：对于阴极弧离子源,磁过滤器的磁场设计是提高其性能的关键技术之一.针对现有磁过滤器对大颗粒过滤不足之处,本文利用永磁体优化磁过滤器的磁场位形,并且增大磁过滤器出口面积等方法,对弯管磁过滤器进行...
23. 不同真空预冷压力对生菜储藏质量的影响

作者：吴柳柳李素云纵伟

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 83-85

摘要：本试验设置不同真空预冷压力冷却生菜,预冷后的生菜在4℃、湿度(85%)的情况下储存两周,然后测量在整个贮藏期中生菜的质量损失、维生素C、色差值变化.结果表明,适度的压力减少率使其物理和化学性...
24. 第十六讲真空系统的操作与维护

作者：张以忱

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 86-88

摘要：
25. 消息

作者：

刊名：真空

发表期刊： 2010年1期

页码: 92,38,74,45,90

摘要：
26. 如何选择和使用涡轮分子泵

作者：刘坤巴德纯杨乃恒王晓冬

刊名：真空

发表期刊： 2010年2期

页码: 1-6

摘要：本文首先介绍了涡轮分子泵的工作原理,结构型式及其优缺点.为了利用涡轮分子泵,获得清洁真空,国外多利用干式机械泵作其前级泵,构成无油的真空系统.然而,目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵...
27. 书讯

作者：

刊名：真空

发表期刊： 2010年2期

页码: 6,30,36,51

摘要：
28. 信息

作者：

刊名：真空

发表期刊： 2010年2期

页码: 6,47

摘要：
29. 全玻璃太阳集热管烘烤排气工艺采用复合分子泵抽高真空

作者：周旭池华敬王双章其初苗建朋陈革

刊名：真空

发表期刊： 2010年2期

页码: 7-11

摘要：采用复合分子泵替代油扩散泵进行全玻璃真空太阳集热管排气烘烤抽高真空试验.选用了三种型号分子泵,在集热管自动连续烘烤排气线上进行实验.经过约一年较长时间生产运行试验后,分子泵经受了190次以上...
30. 基于Monte-Carlo方法模拟分析NBI真空压力分布的研究

作者：刘智民朱武熊模华胡纯栋谢远来

刊名：真空

发表期刊： 2010年2期

页码: 12-16

摘要：中性束注入装置是产生高能中性粒子以加热托卡马克等离子体的装置.NBI真空压力分布是影响中性束传输效率特别是再电离损失的关键因素之一.研究分析了超导托卡马克实验装置中NBI的工作原理和结构特点...

真空基本信息

刊名	真空	主编	陆国柱
曾用名	真空技术报导
主办单位	中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所	主管单位	机械工业部期刊管理办公室中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
出版周期	双月刊	语种	chi
ISSN	1002-0322	CN	21-1174/TB
邮编	110042	电子邮箱	zkzk@chinajournal.net.cn
电话	024-24134406	网址	www.vacjour.cm
地址	辽宁省沈阳市万柳塘路2号