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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2015年1期页码:摘要： Al/BN涂层是一种适用于450℃以下的可磨耗封严涂层,常应用于燃气轮机压气机部位的气路封严.等离子喷涂Al/BN涂层在机械加工后常出现涂层表面疏松及涂层表面粗糙度不均匀的现象,在服役过程中...
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刊名： 真空发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 高功率脉冲磁控溅射具有高的金属离化率,在薄膜制备表现出巨大的优势,成为当前磁控溅射技术领域一个新的发展趋势.高功率脉冲磁控溅射的放电特性、等离子体特性等微观参数对薄膜质量控制具有决定性作用,...
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刊名： 真空发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 基于密度泛函理论采用第一性原理对Ti8O16 、Ti8O15和Ti8O14三种晶体结构进行电子结构的模拟计算.通过模拟结果的分析推断氧空位的作用:氧空位含量较少时,起捕获电子的作用;氧空位含...
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刊名： 真空发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 利用微波等离子体增强化学气相沉积(MPECVD)技术在镀有过渡层金属Mo的Al2O3陶瓷基底上制备了非晶碳/Mo2C复合薄膜,研究了基底预处理对所制备薄膜的场发射特性的影响.结果表明,在同一...
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刊名： 真空发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 本文主要介绍硅基薄膜电池中非晶硅锗电池的研究,总结国内外不同机构和单位研究方向及研究结论.结合对硅锗电池的诸多研究介绍单结非晶硅锗电池以及叠层电池的研究现状.根据最新的研究问题分析预测硅锗薄...
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刊名： 真空发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 采用真空阴极电弧沉积技术在TC11钛合金基体上沉积约10μm厚的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜,通过对比镀膜前后试样的屈服强度、抗拉强度、疲劳强度、疲劳寿命,以及断口形貌,研究沉积Ti/T...
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刊名： 真空发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 在沉积时间分别为1h、1.5 h、2h及2.5 h的条件下,分别用磁控溅射法制备了ZnS薄膜,用XRD、SEM、台阶仪、椭偏仪等实验仪器进行物性检测,最终发现,沉积时间越长的薄膜,晶粒越小,...
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刊名： 真空发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 本文分别采用电子束蒸发和磁控溅射的方法在n型掺杂(n-Si∶H)膜上沉积了不同掺杂量和不同厚度的掺Al的ZnO(ZnO∶Al)薄膜.通过Ⅰ-Ⅴ测试仪测试了两种方法制备的ZnO∶Al薄膜与n-...
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刊名： 真空发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 采用多弧离子镀在高速钢基底上沉积TiAlN薄膜.利用扫描电镜(SEM)观测薄膜的表面形貌;用EDS分析薄膜表面的成分;用表面轮廓仪测试薄膜的厚度并结合沉积时间计算出沉积速率;用维氏硬度仪测量...
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刊名： 真空发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 针对几种应用于工具镀膜的磁场控制的电弧离子镀弧源,分析了其结构、工作原理以及弧斑运动、放电特性;比较了不同磁场辅助受控弧源的靶结构及磁场位形,并讨论了对弧斑运动、放电及镀膜工艺的影响;对磁场...
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刊名： 真空发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 本文结合多弧离子镀和磁控溅射两种镀膜方法的优点,制备了TiN/SiO2复合薄膜.通过扫描电镜可以观察到,制备的复合膜比单纯的氮化钛薄膜更加致密和光滑,基本消除了大颗粒的影响.另外,可以通过控...
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刊名： 真空发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 120℃过热水循环系统对HL-2A主机真空室进行烘烤除气,温升梯度为±1.5℃,持续时间302 h.烘烤过程包含两个恒温阶段,90℃热平衡后真空度达到4.8×10-4Pa,120℃热平衡后真...
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刊名： 真空发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 不同线型的调节锥对喷嘴内的激波特性影响较大,由此造成的能量损失差异较大.通过对同一工况下同一喷射器的六种线型调节锥流场进行数值计算和模拟,对比其流场的激波特性变化及喷射系数大小.结论认为尖锥...
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14. 油扩散泵返油率的控制分析刊名： 真空发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 基于真空系统油扩散泵的工作原理,分析油扩散泵返油的原因,总结出油扩散泵控制返油的方法;引用实例阐述如何查找返油原因;并根据具体原因采取具体措施,以降低油扩散泵的返油率.
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刊名： 真空发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 分析了造成真空脱气装置抽气系统阻降过大的可能性原因,建立了适用于工程设计的计算模型,计算得出气体冷却器是造成阻降过大的主要原因,计算结果与真空计实测值接近.提出了新的改进办法,如增加冷却器通...
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刊名： 真空发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 为了对LHT-100霍尔推力器放电震荡进行抑制,研制了与推力器相匹配的放电震荡抑制装置.结合国内外霍尔推力器放电震荡研制背景,通过仿真分析和集成试验两种手段,对LHT-100霍尔推力器放电震...
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刊名： 真空发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 利用透射电子显微镜(TEM)系统地研究了常温大应变量冷轧的2024铝合金真空时效过程中析出相的类别、形态、尺寸和分布.结果发现,大应变量时效样品中析出相的演变序列不同于T351态样品.冷轧改...
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刊名： 真空发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 热沉是环境模拟器中用来模拟冷黑环境的核心结构,热沉的温度均匀性是其最重要的技术指标之一.本文采用数值模拟方法,对小型热真空模拟器不锈钢板式热沉进行了热力学分析.模拟结果表明:不锈钢板式热沉具...
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19. 大型液氮液氦热沉一体化设计刊名： 真空发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 介绍了大型液氮液氦一体化热沉主要性能指标、设备结构和特点.针对热沉使用温度能够保持在低于10 K的使用要求,对热沉总体布置、管板结构形式、壁板结构形式、翅片管间距进行了详细设计,并对热沉材料...
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20. 第十九讲 真空溅射镀膜刊名： 真空发表期刊： 2015年1期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2015年2期页码:摘要： 针对无油螺杆真空泵单头等螺距转子的动平衡计算问题,本文基于前期研究方法,在研究原理和计算模型不变的条件下,给出了一种既满足转子动平衡条件又简单易行的设计计算方法.在铸造转子毛坯时,直接在转子...
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22. 罗茨真空泵特性指标及测试方法研究刊名： 真空发表期刊： 2015年2期页码:摘要： 本文分析阐明了罗茨泵的特征性能为漏率、零流量压缩比、最大容许压差和噪声.提出了新概念—基础压力的定义:即泵按规定条件工作,在不引入气体的情况下,标准测试罩内趋向稳定的压力.并建议以漏率取代极...
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刊名： 真空发表期刊： 2015年2期页码:摘要： 水环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵,在很多行业都有着广泛应用.它的主要零部件有泵体、前后端盖、叶轮、轴等.在产品结构设计时,如泵体有着较复杂的内腔结构,使用二维工程图存在着读图难度大,客...
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刊名： 真空发表期刊： 2015年2期页码:摘要： 本文从接触式真空吸取的技术需求出发,分析了接触式真空吸盘的设计要求和主要结构形式,阐述了接触式真空吸取技术由非金属材料常规吸盘到形状自适应和人工弹性材料仿生吸盘的发展历程,研究了真空吸取力产...
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刊名： 真空发表期刊： 2015年2期页码:摘要： 本文设计了中心波长为1315 nm的反射型和透射型导模共振滤光片,并利用严格耦合波法分析了其光谱特性.首先设计了中心波长1315 nm单层反射型导模共振滤光片,但由于覆盖层和基底层的折射率不...
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刊名： 真空发表期刊： 2015年2期页码:摘要： 最近,包覆氧化物进行表面修饰的方法已成功应用于改善锂离子电池阴极材料的容量稳定性.本文中,我们通过V2O5溶胶结合提拉法制备了V2O5多孔薄膜,并利用原子层沉积法对其包覆Al2O3原子层.V...
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刊名： 真空发表期刊： 2015年2期页码:摘要： Al在ZrN薄膜中的存在形式与Al含量密切相关,由此导致ZrAlN薄膜的韧性改变.本文发现了一定成分的ZrAlN薄膜同时具备高硬度和高韧性的现象.采用磁控溅射技术在钛合金和单晶Si上沉积不同...
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刊名： 真空发表期刊： 2015年2期页码:摘要： 本文采用射频磁控反应溅射法于常温下在硅片和玻璃基片上制备ZnO和掺铝ZnO薄膜,将铝丝置于ZnO靶材上共同溅射来达到掺杂的效果,利用不同长度的铝丝以获得不同的掺杂量.通过X射线衍射法对薄膜进...
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刊名： 真空发表期刊： 2015年2期页码:摘要： 为了使手术器械具有疏水抗菌性,我们在手术器械表面制备了具有微纳米结构的Cr/CrN/Cu-TiN膜.基体表面微纳米化用化学刻蚀法,膜层制备用高功率脉冲磁控溅射法,试样检测用SEM、EDS、接...
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30. 波长渐变膜的设计与制备刊名： 真空发表期刊： 2015年2期页码:摘要： 基于实际使用中的需求,使用磁控溅射的方法,在50 G窄带光学膜的基础上,通过使用挡板遮挡,在玻璃上镀制不同厚度的膜层,在不同物理位置实现中心波长渐变的50 G窄带光学膜.
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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