脉冲激光焊接技术及在集成电路制造中的应用

• 作者: 姜幼卿 赵国义 韩学斌
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲激光焊接 激光束质量/模式 集成电路
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 新工艺新技术
• 页码范围: 177-180
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 3197字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2002.04.014

摘要

综合介绍了脉冲激光作为热源用于焊接的工艺特点,以及激光束质量或模式对焊接质量的重要意义.简要总结了国内外集成电路制造中脉冲激光焊接技术的应用和发展情况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜幼卿		20	174	6.0	12.0
2	韩学斌		4	26	3.0	4.0
3	赵国义		1	5	1.0	1.0