测辐射热计的微桥研制和Vox膜成膜研究

• 作者: 邢昆山 郭群英 陈建国
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 测辐射热计 微桥结构 氧化钒薄膜
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 支撑技术
• 页码范围: 70-73
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2+1
• 字数: 2867字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2002.01.023

摘要

介绍了测辐射热汁的工作原理、器件结构的几何形状和研制状况,叙述了测辐射热计材料的特性及制备技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈建国		9	42	2.0	6.0
2	邢昆山		2	24	2.0	2.0
3	郭群英		7	8	1.0	2.0