表面栅BSIT的栅源低击穿问题研究

• 作者: 崔占东 杨银堂
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体 BSIT 工艺
• 年，卷（期）: 2003,（10）
• 所属期刊栏目: 支撑技术
• 页码范围: 78-81
• 页数: 4页
• 分类号: TN605
• 字数: 2533字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2003.10.023

摘要

通过对DX0231型BSIT栅源低击穿问题的分析,讨论了设计、材料、环境、设备等因素对表面栅BSIT栅源击穿的影响,指出了提高栅源击穿的努力方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨银堂		420	2932	23.0	32.0
2	崔占东		10	29	3.0	5.0