离子注入机金属铝离子源的气源的优选

• 作者: 孙勇 王迪平 陈洪 彭立波
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 关键词: 注铝离子注入机 金属铝离子源 束流质谱
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 微组装技术 SMT PCB|MICRO-ASSEMBLY SMT PCB
• 页码范围: 147-149,169
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 语种: 中文
• DOI: 10.14176/j.issn.1001-3474.2021.03.007

摘要

注铝离子注入机,是宽禁带半导体SiC产业的关键设备,金属铝离子源直接影响了整机的性能指标,特别是PM周期和离子源寿命.为保证离子源的长寿命和铝离子大束流,针对金属铝离子源放电的辅助气源进行了一系列的研究和实验,包括铝离子产额、束流质谱、阴极使用寿命及污染导致的放电打火情况等,通过实验结果筛选出最佳的气源.