基于超材料的声表面波微流控芯片设计和工艺

• 作者: 刘鹏 赵欣洒 于本知 史韶杰 马瑜娟
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 关键词: 声表面波 微流控芯片 声学超材料 工艺设计
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 综述|TECHNICAL REVIEW
• 页码范围: 128-130,162,177
• 页数: 5页
• 分类号: TN605
• 语种: 中文
• DOI: 10.14176/j.issn.1001-3474.2021.03.002

摘要

声表面波(SAW)是一种能量聚集在基底表面传播的弹性声波.为了克服传统声表面波芯片声场分布不均匀、能量不集中和声场单一等缺点,将声学超材料和声表面波技术相融合,通过对基于声学超材料改进声场的芯片进行有限元仿真分析,实现低功耗声波激励下的声场局域增强、能量均匀分布的效果,进而加工并制作了铜柱阵列微结构的声表面波芯片.仿真模拟和实验测试均有效证实了声场能量均匀分布的特性,该研究对微流控芯片在细胞操控等领域的研究具有重要意义.