传感技术学报期刊
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传感技术学报

Chinese Journal of Sensors and Actuators

CACSCDJSTSACSTPCD

影响因子 1.3812
《传感技术学报》杂志的编委委员均来自国内各著名高校的教授和博士生导师,他们是我国传感器领域方面的专家、学者和权威人士。《传感技术学报》稿源来自全国各高等院校,,中国科学院所属的有关专业研究机构以及国内大型工矿企业设置的专业研究所。《传感技术学报》刊登的论文均有2名国内同行专家审稿通过。 《传感技术学报》的作者有院士、教授、博士生导师、研究员、博士研究生、和硕士研究生以及从事该研究领域的工作... 更多
主办单位:
东南大学 中国微米纳米技术学会
期刊荣誉:
江苏省一级期刊  荣获《中国学术期刊(光盘版)检索与评价数据规范》执行优秀奖 
ISSN:
1004-1699
CN:
32-1322/TN
出版周期:
月刊
邮编:
210096
地址:
南京市四牌楼2号东南大学
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  • 作者: 何保山 周爱玉 岳伟伟 杨庆德 罗金平 蔡新霞
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  543-546
    摘要: 针对微量三磷酸腺苷(ATP)检测需求,利用生物荧光技术,设计了一种手持式ATP检测仪.该检测仪以小型光电倍增管PMT为光电转换器件,通过有效的干扰屏蔽和信号采集放大电路设计,实现了ATP反应...
  • 作者: 任秋实 刘景全 刘舒维 朱军 柴新禹 陈翔 陈迪
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  550-552
    摘要: 设计了一种用于刺激视网膜的生物微电极阵列,采用非硅MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上制备出了具有一定生物相容性的,电极数为20的生物刺激电极阵列,并成功实现了器件从基底的完整释放.实验中采用...
  • 作者: 侯占强 吴学忠 彭智丹 江平 肖定邦
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  556-558
    摘要: 以SF6/Ar为刻蚀气体,采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀Pyrex玻璃,研究气体流量、射频功率对刻蚀速率及刻蚀面粗糙度的影响.采用正交实验方法找出优化的实验参数,得到Pyrex玻璃刻蚀速...
  • 作者: 崔健 迟晓珠 闫桂珍
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  559-562
    摘要: 对于MEMS振动陀螺来说,找到一个快速有效的方法来评估其结构参数是非常重要的,比如谐振频率和阻尼系数,应根据微机械陀螺设计和制作的不同阶段,从测试精度、测试速度和试验方便程度等方面考虑,采用...
  • 作者: 杨振川 王佳 钱梁 闫桂珍
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  563-566
    摘要: 体硅MEMS和CMOS电路的单片集成技术是提高传感器性能的有效途径,但是集成技术会对陀螺的设计和CMOS电路的设计提出更高的要求.通过建立CMOS-MEMS体硅陀螺的等效电学模型,实现了对C...
  • 作者: 冯丽爽 刘惠兰 单志刚 林恒 王广龙
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  567-570
    摘要: 提出了一种锆钛酸铅(PZT)薄膜微致动器的结构模型.该致动器采用高d33特性的压电陶瓷材料,用于对空间谐振式微光机电(MOEMS)陀螺微镜进行位移和角度的精确定位.建立了该致动器的简化模型并...
  • 作者: 吴剑 张骅 沈广平 秦明
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  571-573
    摘要: 提出一种MEMS风速计的封装结构,采用这种结构可以集成信号处理电路,实现系统功能.利用ANSYS软件对封装结构进行建模,主要从风速和风向两个方面,对风速计封装前后的性能进行了模拟,并将模拟数...
  • 作者: 王斌 秦明 黄庆安 黄晓东
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  578-580
    摘要: 提出了一种新型电容式压力传感器.在外加压力下,该传感器的极板面积、间距以及介质层介电常数均发生改变,并导致电容发生变化.同时介绍了接口电路的设计,该电路基于电容-频率转换原理.该传感器结构简...
  • 作者: 乔慧 张文栋 张斌珍 胡杰 薛晨阳
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  581-584
    摘要: 提出了一种新型的基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿纳米薄膜结构的压阻式加速度计结构,运用MATLAB 软件对敏感结构参数进行了计算,并利用ANSYS软件对加速度计结构进行了...
  • 作者: 卢桂章 苏卫国 谭宜勇 赵新 金桐
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  585-588
    摘要: 以一个电容式微加速度计为设计实例来介绍了基于IP库MEMS设计的流程,其中主要包括四个部分:原理分析,结构设计,工艺流程和版图设计,封装及电路测试.首先根据需求设计出加速度计的基本结构;然后...
  • 作者: 任杰 樊尚春 王路达
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  593-595
    摘要: 谐振式微机械加速度计直接输出频率信号,具有稳定性好、精度高的特点.分析了谐振式微机械加速度计的工作机理,建立了第一级敏感结构、杠杆机构和第二级敏感结构的数学模型,指出了实现高灵敏度加速度测量...
  • 作者: 温中泉 温志渝 王晓兰 贺学锋
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  596-599
    摘要: 隧尖与阳极之间的可控间距是关系到隧道加速度传感器能否正常工作的一个重要参数,静电吸合限制了该可控间距的范围,本文从理论上分析了静电吸合对隧道加速度传感器设计的影响.对于质量块作活塞式运动的平...
  • 作者: 刘俊 石云波 马宗敏
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  600-603
    摘要: 介绍了一种单质量块的单轴集成惯性测量器件的结构,提出一种可以利用一个敏感头同时测量某一方向加速度和陀螺信号的集成测量结构形式;同时建立了单轴集成测量器件的模型,并运用计算机辅助软件对其进行仿...
  • 作者: 张海霞 李修函 李旦 陈石清
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  604-606
    摘要: 利用MEMS微电镀工艺技术制作了一种新型的适用于RF MEMS能量耦合传输的高Q值电感,采用ANSOFT公司的HFSS优化平面螺旋电感的结构.在具有高电阻率的玻璃衬底上溅射0.5 μm的铜层...
  • 作者: 廖小平 田涛
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  611-614
    摘要: 提出了一种新型的三明治结构MEMS微波功率传感器结构,与传统传感器相比,新结构由于采用了垂直传热方式而具有较小的热损耗.在输入相同功率的情况下,模拟了热电堆的温度分布,三明治结构热电堆的温度...
  • 作者: 张永宇 杜向阳 陈晓阳
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  615-618
    摘要: 提出了V型电热硅微致动器的弯曲振动力学模型.考虑到微米尺度上的硅梁难以简化为质量块、弹簧振动模型,采用了连续体建模,据此可进行其模态分析及动态频率特性的理论研究.利用自行设计制造的在线动态测...
  • 作者: 常洪龙 徐景辉 苑伟政 谢建兵 谢志雄
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  624-627
    摘要: 研究了一种抽取版图信息构建系统级模型的技术,即从标准版图文件中提取结构的几何信息和拓扑信息,将其转换对应于系统级中的参数化元件库,并按原始版图拓扑互连,从而生成基于saber仿真平台的系统级...
  • 作者: 余婷婷 孙丽娜 张乐 张璐 闫桂珍
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  632-635
    摘要: MEMS射流角速率传感器的工作原理是当有外加角速度时,腔内射流发生偏转,此时腔内产生的不对称温度分布通过微悬空铂丝输出一个差分电压信号.由于器件中的气流在工作平面上作循环运动,这样器件的性能...
  • 作者: 孙涛 张俊杰 梁迎春 董申 闫永达
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  636-639
    摘要: 使用三维分子动力学方法模拟了基于AFM针尖的不同结构(FCC,BCC)的单晶金属(铝,铁,铜,镍)的纳米切削过程,研究了单晶金属延展性能对切削过程工件材料变形的影响.使用Morse势计算工件...
  • 作者: 吴亚明 穆参军 赵本刚
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  640-643
    摘要: 扭转镜面的动态形变是影响显示成像用MEMS扫描微镜光学分辨率的主导因素,研究了高速转动的MEMS扫描微镜的动态形变特性,得到了相关有用的结论.结果表明当MEMS扫描微镜镜面几何尺寸一定时,如...
  • 作者: 廖小平 武锐
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  644-647
    摘要: 模拟并设计了一种基于表面微机械加工的平面MEM电感,提出了它的等效电路模型并给出模型中参数的提取方法.由模拟结果验证了该等效电路具有较高的精度,误差在8%以内.设计的一个3.6 nH的平面M...
  • 作者: 李晓莹 王一桦 蒋庆华
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  648-651
    摘要: 噪声是以微弱信号处理为特征的电容式微加速度计性能提高的主要制约因素.针对电容式微加速度计的噪声,详细分析和研究了其特性.首先分析了电容式微加速度计的系统噪声由机械热噪声和电路噪声两部分组成;...
  • 作者: 刘理天 吴建刚 孙凯歌 岳瑞峰 康明 欧阳帆
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  652-655
    摘要: 提出了一种基于介质上电润湿(EWOD)的新型液体变焦透镜结构并研制出样机.它由一个依次覆盖有氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜及疏水介质膜的玻璃下极板、悬浮于其上方的一个中空金属环、以及作为透镜...
  • 作者: 侯智昊 刘泽文 刘理天 李志坚 胡光伟
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  660-663
    摘要: 介绍了一种串联电容式RF MEMS开关的设计与制造.所设计的串联电容式RF MEMS开关利用薄膜淀积中产生的内应力使MEMS桥膜向上发生翘曲,从而提高所设计的开关的隔离度,克服了串联电容式R...
  • 作者: 劳永建 李丽华 郭涛
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  664-666
    摘要: 典型的微加速度开关至少包含一个电接触,当阈值加速度值达到时,该开关将闭合.一般为金属接触,比如金.但金属接触可能存在许多问题,如微焊接、电弧、氧化,这些问题可能导致开关工作失灵.鉴于此,本文...
  • 作者: 于晓梅 张海涛 汤雅权 马盛林
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  667-671
    摘要: 提出了一种基于SOI 技术的微悬臂梁传感器集成化方案,并从传感器信号调理电路的设计和集成化工艺设计方面论证了该方案的可行性.微悬臂梁传感器集成化系统主要包括惠斯通电桥阵列以及微悬臂梁传感器的...
  • 作者: 乔大勇 梁庆 苑伟政 虞益挺
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  680-683
    摘要: MEMS可编程光栅的工作性能很大程度依赖于驱动电路的性能.本文根据MEMS可编程光栅的工作特点及结构参数,提取出光栅的等效电容值,并采用集成高压运放研制出一种新型的MEMS可编程光栅的动态驱...
  • 作者: 于怀勇 冯丽爽 刘惠兰 王广龙 邢济武
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  684-687
    摘要: 基于光纤陀螺的小型化和工程化设计要求,提出模块化设计概念.设计了一种Y型SOI波导耦合器,用于光纤陀螺光收发模块.此结构具有形式简单、谱宽、加工工艺成熟和易于实现光电集成等技术优势.理论上分...
  • 作者: 冯勇建 冯永奇 刘建彰 谢雪望
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  702-704
    摘要: 给出一种用于义齿压力测量的微型电容式传感器的研制工艺和封装测试.文中根据电容式压力传感器的原理,采用MEMS工艺,研制出微型传感器.在与义齿基托相同材料的作底基的树脂上挖一个边长为2 mm平...
  • 作者:
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  封3
    摘要:

传感技术学报基本信息

刊名 传感技术学报 主编 黄庆安
曾用名
主办单位 东南大学 中国微米纳米技术学会  主管单位 中华人民共和国教育部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1004-1699 CN 32-1322/TN
邮编 210096 电子邮箱 dzcg-bjb@seu.edu.cn;dzcg-bjb@163.com
电话 025-83794925 网址
地址 南京市四牌楼2号东南大学

传感技术学报评价信息

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