机械强度期刊
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机械强度

Journal of Mechanical Strength

CACSCDJSTSACSTPCD

影响因子 0.5911
本刊为机械工程专业技术期刊。以机械工程中的机械强度与振动和机械工程材料宏观强度的研究应用为中心内容。设有振动、检测、诊断技术、优化、可靠性技术、设计、计算、疲劳断裂、研究简报等栏目。
主办单位:
中国机械工程学会 郑州机械研究所
期刊荣誉:
国家机械工业局机械行业优秀科技期刊二等奖(99)  河南省优秀科技期刊二等奖(99第三届)  获河南省优秀科技期刊二等奖(02第五届) 
ISSN:
1001-9669
CN:
41-1134/TH
出版周期:
双月刊
邮编:
450052
地址:
郑州嵩山南路81号
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  • 作者: 伍小平 孔德义 张培强 梅涛
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  373-379
    摘要: 针对微电子机械系统(MEMS)材料的力学特性、工艺过程对力学特性的影响以及微执行器、微机器人的尺度效应等力学问题进行了研究.从力学角度提出了硅和常用的薄膜材料作为MEMS结构材料时应遵循的设...
  • 作者: 余寿文
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  380-384
    摘要: 讨论微电子机械系统(MEMS)的三个力学问题:(1)微系统界面区域的力学性质.(2)薄膜-基底结构界面的裂纹扩展.(3)微机械的弹塑性-粘着接触力学.文中在简述了研究现状后,简要地报导了作者...
  • 作者: 丁建宁 孟永刚 温诗铸
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  385-388
    摘要: 为了解构件尺寸的微型化给材料的强度带来的影响,利用纳米硬度计通过微悬臂梁的弯曲试验法来测量多晶硅微构件弯曲强度,利用电磁驱动微拉伸装置测试了抗拉强度.试验研究表明,多晶硅微构件的弯曲强度和抗...
  • 作者: 李战华 薛明伦
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  389-392
    摘要: 通过具体分析电推进、电阻加热式微喷和重力梯度等控制卫星姿态的手段,介绍卫星微型化后推进器设计会遇到的问题,供微型飞行器姿态控制的设计选择和研究参考. 从微卫星(<20 kg)的设计来看,由...
  • 作者: 刘澂 张大成 赵亚溥 钱劲
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  393-401
    摘要: 残余应力一直是微系统技术(MST)发展中一个令人关注的问题,它影响着MEMS器件设计、加工和封装的全过程.文中考虑薄膜中残余应力的起源,介绍测量残余应力的主要方法,并就计算薄膜中残余应力的S...
  • 作者: 施兴华 赵亚溥 高永刚
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  402-412
    摘要: 着重对纳米材料中很重要的和亟待研究与应用的材料之一--碳纳米管的力学行为以及与之相关的实验和性质进行了综述.从碳纳米管的结构、实验、应用等几个方面,通过对以往的各类实验进行总结,着重评述了碳...
  • 作者: 张统一 赵明皞 陈隆庆
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  413-429
    摘要: 对薄膜力学性能的测试方法、技术以及所取得的主要成果进行简要的综合介绍.
  • 作者: 余同希 孙庆平 张泰华 杨业敏 赵亚溥
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  430-436
    摘要: 微电子机械系统技术的迅速崛起,推动了微型材料拉伸测试方法的发展.文中列举几种典型的微型材料拉伸实验方法,具体说明其驱动方式、力和位移测试原理,并介绍实验中的难点,如试样加工、夹持和对中等方法...
  • 作者: 何小元 康新 衡伟 黄庆安
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  447-451
    摘要: 介绍了微电子和微电子机械系统(MEMS)中几种常用的变形和形貌测量方法以及相关的测量设备.其中相移云纹干涉技术用于微电子器件的面内位移测量,灵敏度可达到纳米量级.显微栅线投影技术用于MEMS...
  • 作者: 王海容 蒋庄德 赵则祥
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  452-455
    摘要: 对微构件力学性能测试的微力微位移装置的重要组成部分--大位移高分辨率加载机构进行了研究.根据微力微位移装置的要求,提出了一种通过结构变形进行加载的整体式两级加载机构,该机构的第一和第二级分别...
  • 作者: 王海容 蒋庄德 赵则祥
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  456-459
    摘要: 根据纳米压入法测量与评定MEMS材料力学性能的原理,对诸如测量仪器、压头、评定模型、测试条件等影响力学性能测量精确度、测量结果的可比性的主要因素进行了分析.在此基础上,提出对MEMS材料力学...
  • 作者: 孙德军 尹协远 秦丰华
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  460-464
    摘要: 对于长微管道气体流动,得到了简化的控制方程组,采用迭代方法可以给出流动的速度分布、密度分布,进而求出质量流量.实验研究表明,简化计算得到的流量基本上是合理的;即使对于极低的Mach数流动,微...
  • 作者: 余隽 唐祯安 魏广芬
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  465-470
    摘要: 微电子机械系统(MEMS)是结合微电子技术和微机械加工技术制造而成的微型机电一体化系统.MEMS中薄膜材料的厚度可达到微米、亚微米直至纳米量级.由于微尺度效应,薄膜材料的导热规律及其各种热物...
  • 作者: 崔大付
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  471-475
    摘要: 近年来基于微电子机械系统(MEMS)技术研究和开发的一个新领域就是BioMEMS,特别是对生物芯片和生物化学微分析系统的研究.文中叙述了基于BioMEMS技术的DNA芯片研究,介绍了几种不同...
  • 作者: 熊斌 王跃林 车录锋
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  481-483
    摘要: 利用有限元方法,研究振子框架式微机械陀螺主要几何尺寸对其固有频率的影响.根据陀螺驱动模态频率和检测模态的频率匹配,优化了陀螺的结构尺寸,并为结构改进和制备工艺提供理论指导.
  • 作者: 姜岩峰 黄庆安
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  484-487
    摘要: 文中的工作属于MEMS计算机辅助设计(CAD)中的一部分内容.介绍了如何建立硅各向异性腐蚀三维计算机模拟系统,给出这个工艺模拟系统的结构框图,并就已给出框图中几个重要的方面进行了叙述.在这个...
  • 作者: 余同希 孙克豪 张立宪 赵亚溥 钱劲
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  488-494
    摘要: 概要论述了微电子机械系统的计算机辅助设计和模拟过程,分析了MEMS CAD系统所应具有的主要内容和系统模拟中的关键问题,讨论了目前经常采用的各种模拟系统的模拟形式和应用范围.并结合静电微马达...
  • 作者: 苑伟政 赵洪策 马炳和
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  495-499
    摘要: 借鉴虚拟制造的建模方法,开展了针对以准分子激光直写刻蚀加工为主要加工手段,以微集成机构为产品对象的桌面式微型工厂建模研究,规划了桌面式微型工厂的框架,确定了系统的结构组成,讨论了组成模块的功...
  • 作者: 朱西平 林胜勇 高行山
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  500-502
    摘要: 基于有限元和边界元耦合法,建立了一种新的求解微电子机械系统(MEMS)中多能量场耦合问题的数值方法--加速松弛法.这种方法能有效地避免使用牛顿法时求解Jacobi方程的困难.算例表明,加速松...
  • 作者: 崔云俊 张为斌 方竞 昌盛 沈健 王丛舜
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  503-506
    摘要: 力电耦合是大多数微电子机械系统(尤其是以静电驱动的微机械)的重要特征.文中采用有限元(FEM)结合边界元(BEM)的方法来混合求解MEMS中的力电耦合问题,利用自行研制的程序给出了几种典型构...
  • 作者: 任嗣利 孟永宏 杨生荣 王占会 赵亚溥
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  507-510
    摘要: 利用胺基与C60分子的加成反应,在3-胺基丙基-三乙氧基硅烷(APS)的自组装单分子膜(SAMs)表面上成功的制备了与基底化学键结合的C60-SAMs.其表面水接触角约为76°,膜厚约为1....
  • 作者: 周承恩 洪友士 谢季佳 邓忠民
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  511-515
    摘要: 磨损是材料和机械失效的主要原因之一.本文介绍了近年来材料磨损性能研究的进展,磨损的几种破坏机制以及相应的磨损理论模型,并介绍了MEMS中磨损研究的现状.
  • 作者: 余同希 李志宏 王立森 胡宇群 赵亚溥
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  516-522
    摘要: 抗冲击性是加速度计的一个主要性能指标,跌落实验则是一种测试结构冲击作用的有效方式,本文利用跌落实验对一种折叠梁式微加速度计在冲击载荷作用下的失效模式进行了研究.实验发现在微加速度计中主要存在...
  • 作者: 张大成 张立宪 李婷 郝一龙
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  523-526
    摘要: 结合MEMS技术的发展历史,概括了当今硅基MEMS加工技术的发展方向.指出表面牺牲层技术和体硅加工技术是硅基MEMS加工技术的两条发展主线;表面牺牲层技术向多层、集成化方向发展;体硅工艺主要...
  • 作者: 熊斌 王跃林 车录锋
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  527-530
    摘要: 对一种新型微机械振动陀螺原型的运动特性进行了理论分析.采用差分电容信号调制解调方法测量了微机械陀螺驱动和检测模态的幅频特性.理论计算和实验结果表明,在大气状态下,该微机械陀螺驱动模态和检测模...
  • 作者: 丁纯 刘东栋 唐衍哲 王跃林 胡海波
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  531-534
    摘要: 光纤和光波导的耦合封装问题是实现集成光学器件实用化的关键技术.本文在分析了光纤和光波导端面耦合损耗产生原因的基础上,选择光纤定位槽作为封装载体,并且比较了不同晶向硅各向异性腐蚀出的定位槽作为...
  • 作者: 夏善红
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  535-538
    摘要: 介绍真空微电子传感器的研究和发展概况,着重叙述了真空微电子压力传感器和真空微电子磁传感器的发展,并就其研究、发展和应用前景阐述了个人的观点.
  • 作者: 徐峥谊 熊斌 王翊 王跃林
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  539-542
    摘要: 阐述了微机械红外热电堆探测器的工作机理以及主要结构,并用微机械工艺制作得到4×4的探测器阵列,该制作工艺与标准IC工艺兼容.在获得的探测器阵列中,热电堆支撑结构为氧化硅与氮化硅的介质复合膜,...
  • 作者: 于中尧 崔大付 王利 陈德勇
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  543-547
    摘要: 报导一种新型的电热激励、压阻拾振的氮化硅梁谐振式压力传感器.器件采用微电子机械加工技术和键合技术研制.谐振频率85 kHz,空气中品质因素Q值接近1 000,在真空中达到40 000.采用闭...
  • 作者: 雷源忠 黎明
    刊名: 机械强度
    发表期刊: 2001年4期
    页码:  548-551
    摘要: 纳米技术是近年来国际前沿研究领域,世界主要发达国家的政府均投入巨资加强该领域的研究或设立国家研究机构,以期望在纳米材料、纳米生物技术、微纳米加工技术及测量、信息技术和相关国防应用领域取得突破...

机械强度基本信息

刊名 机械强度 主编 王长路(兼)
曾用名
主办单位 中国机械工程学会 郑州机械研究所  主管单位 中国机械工业联合会
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1001-9669 CN 41-1134/TH
邮编 450052 电子邮箱 jxqd@chinajournal.net.cn
电话 0371-67710821 网址 www.zrime.com.cn
地址 郑州嵩山南路81号

机械强度评价信息

期刊荣誉
1. 国家机械工业局机械行业优秀科技期刊二等奖(99)
2. 河南省优秀科技期刊二等奖(99第三届)
3. 获河南省优秀科技期刊二等奖(02第五届)

机械强度统计分析

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研究主题
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