真空期刊
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真空

Vacuum
曾用名: 真空技术报导

CACSTPCD

影响因子 1.1128
本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来,由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会,并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增,在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来,被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位:
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉:
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊  工程技术类核心期刊 
ISSN:
1002-0322
CN:
21-1174/TB
出版周期:
双月刊
邮编:
110042
地址:
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
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目录
  • 作者: 廖传华 张维薇 朱跃钊 钱强
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年3期
    页码:  82-84
    摘要: 海水淡化技术在不断地发展,从传统的蒸馏法到目前的膜处理.真空蒸馏处理技术(VDT)是在烘干处理技术基础上的发展,应用在船舶上,利用船舶的废热来淡化海水的一项技术,分析了原理,并对其进行了热力...
  • 作者: 张以忱
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年3期
    页码:  85-88
    摘要:
  • 作者:
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年3期
    页码:  93,63,91
    摘要:
  • 作者: 苏原
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  1-4
    摘要: 根据多次真空展的统计数据,总结出第10届国际真空展的四大亮点:参展厂商数及参展外商数、展位数均创历史新高;干泵成展会主角;流通、服务业方兴未艾,国内参展厂商高端产品比重增加.通过参展,作者认...
  • 65. 信息
    作者:
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  4,48,52,90,92,94
    摘要:
  • 作者: 吴敢 崔连武 程华 闻火 闻立时 黄荣芳
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  5-8
    摘要: 利用KrF准分子激光对非晶硅薄膜的表层进行了晶化.研究了激光能量密度和照射脉冲数对薄膜结晶度的影响,并对晶化后薄膜的形貌和结构进行了表征.结果表明:该非晶硅薄膜晶化阈值约为110 mJ/cm...
  • 67. 书讯
    作者:
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  8,15,31,82,85
    摘要:
  • 作者: 周震 廖成 焦飞 谢华木 赵夔 陆真冀 韩俊峰
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  9-11
    摘要: 利用四元叠层硒化法制备了铜铟镓硒(缩写为CIGS)薄膜,重点分析了在叠层法制备CIGS薄膜过程中,基底温度对CIGS薄膜的晶体结构,表面形貌以及各种元素沿深度分布的影响.实验结果表明,在叠层...
  • 作者: 吉锐 周序乐 唐振方 沈娇
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  12-15
    摘要: 采用硫酸盐电沉积法,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)等手段研究了不同电沉积条件下在PI膜表面制备的Cu薄膜的品而择优取向、平均晶粒尺寸及表面形貌.结果表明,沉积层的晶面择优取向...
  • 作者: 张永爱 袁军林 赵靖 郭太良
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  16-19
    摘要: 利用氧离子辅助电子束蒸发沉积Ta2O5薄膜,在dd定氧离子能量的条件下研究了氧离子束流密度对Ta2O5薄膜的微观结构、化学计量比和漏电流密度的影响.利用原子力显微镜和X射线衍射仪对Ta2O5...
  • 作者: 宋泽润 方广志 李合琴 沈洪雪
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  20-23
    摘要: 用磁控反应溅射法在玻璃和镅片衬底上制备Vox/TiOx/Ti多层薄膜.用X射线衍射(XRD)、QJ31单臂电桥、薄膜内耗仪等测试了薄膜的晶体结构、电阻、内耗.分别进行了薄膜的制备工艺与内耗研...
  • 作者: 毛一帆 董树荣
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  24-27
    摘要: 电磁干扰(EMI)日益严重,在产品表面镀覆电磁屏蔽膜成为抗EMI主要措施之一.本文采用磁控溅射技术在聚酯塑料(PET)上制备出附着力大于5 MPa、2 GHz~4 GHz频率范围内屏蔽效能大...
  • 作者: 刘凤芹 史新伟 左秀荣 李广钦 王齐伟 黄晓辉
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  28-31
    摘要: 为有效提高3003铝箔表面光泽度、比面积及强硬度,采用直流反应磁控溅射的方法.在一定溅射参数条件下,选用高纯钼靶和钛靶对3003铝箔进行溅射实验,分别在铝箔表面主要沉积出AlMo3、Al3M...
  • 作者: 聂朝胤 谢红梅
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  32-35
    摘要: 采用电弧离子镀技术在45#钢衬底表面沉积了TiN薄膜.用显微硬度计测试了薄膜的硬度,用球一盘式摩擦磨损试验机评价了在不同测试条件下(干摩擦,水润滑,油润滑)TiN薄膜的摩擦学性能,用表面轮廓...
  • 作者: 曾其勇 郑晓峰
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  36-40
    摘要: 在导电基体上制作薄膜传感器的过程中,需要在基体与薄膜电极之间沉积一层绝缘膜.二氧化硅薄膜具有良好的绝缘性能,并且稳定性好,膜层牢同,长期使用温度可达1000℃以上,应用十分广泛.通常制备Si...
  • 作者: 李钰梅 武光明 江伟 王怡 邢光建 韩彬
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  41-48
    摘要: ZnO作为重要的第三代半导体材料在光电领域具有广泛的应用前景因而引起越来越多的关注,ZnO薄膜的p型掺杂是实现ZnO基光电器件的关键,也是ZnO材料的主要研究课题.本文论述了ZnO薄膜P型转...
  • 作者: 李城钰 陈旭 齐京
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  49-52
    摘要: 为确保小尺寸超高真空密封器件的高可靠和长寿命,开发了一种带非蒸散型吸气剂的微型复合离子泵(Mini-Combination Ion Pumps with NEG).在新建的微型离子泵性能测试...
  • 作者: NBI组 刘智民 张建国 汪明明 胡纯栋 谢远来 陈长琦
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  53-56
    摘要: 活性炭是NBI低温吸附泵吸附面的关键组成部分,其性能是决定NBI低温泵抽气性能的关键因素之一.本文选取JX-6型椰壳活性炭,用全自动比表面积及孔径分析仪(ASAP2020)在液氮温度下对其性...
  • 作者: 卢大伦 姜韶风 曹建勇 李亮 罗萃文 邹桂清 雷光玖
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  57-60
    摘要: 为满足HL-2A中性束加热的需求,我们为HL-2A的NBI注入器研制了脉冲送气回路及其控制系统,系统的核心流量控制部件为PEV-1压电晶体阀,主要是根据气压测量结果调整压电阀电源输出脉冲电压...
  • 作者: 戴永年 李秋霞 杨斌 王烨 蒋文龙 马文会
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  61-65
    摘要: 利用新的热力学研究方法一"物质吉布斯自由焓函数法"对不同压力下三氧化二铝生成低价一氯化铝及低价一氯化铝分解进行热力学条件的简化计算.研究得出:在100 kPa时,三氧化二铝在有还原剂碳存在下...
  • 作者: 周国燕 张今 郭堂鹏 郭柏松
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  66-71
    摘要: 本文根据冻干过程干燥室内的露点值和物料的水分含量有关提出一种新的方法--露点法来监控冻干过程物料的水分迁移情况.以浓度为2%(W/V)的甘露醇(冻干保护剂)为研究对象,分别取80个,160个...
  • 作者: 冯焱 卢耀文 张涤新 徐婕 成永军 赵光平 赵澜
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  72-75
    摘要: 针对目前正压漏孔校准工作中存在的测量下限指标低、测量不确定度大等问题,提出了正压漏孔校准装置的优化设计方法.采用特殊设计,将定容室的容积减小到10 mL以下,降低了气体累计时间,延伸了测量下...
  • 作者: 周燕 喻其炳 张贤明 李川
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  76-78
    摘要: 本文介绍了PLC在废油处理设备自动控制系统中的应用.主要介绍了真空蒸发工艺及PC-PLC控制系统的主要功能等.该系统实现了对废油再生设备的自动控制和运行状态的实时监控.PLC具有运行稳定、可...
  • 作者: 朱武 李劼人 林士耀 胡立群
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  79-82
    摘要: 设计制作了用于EAST托卡马克装置水平窗口的基于CdTe探头的硬X射线诊断单元.经与EAST联机试验运行,结果表明,该诊断单元设计原理正确,空间分辨率精度及辐射屏蔽达到设计目标,能够满足测量...
  • 作者: 江豪成 郭宁 顾佐
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  83-85
    摘要: 为验证空心阴极的寿命,本文根据空心阴极LaB6发射体的损耗特点,采用数学建模方法对空心阴极的寿命进行了预测.预测结果表明兰州物理研究所研制的空心阴极工作在额定状态下(发射电流5.00 A),...
  • 作者: 张以忱
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  86-88
    摘要:
  • 作者:
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  93
    摘要:
  • 作者: 董镛
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年5期
    页码:  1-9
    摘要: 通过理论计算及测试数据,说明真空玻璃具有良好的保温(隔热)性能,良好的隔声性能及防结露性能,节能效果明显;介绍真空玻璃"一步法"生产工艺流程及主要技术装备;论述目前制约真空玻璃推广应用的三大...
  • 作者: 庄大明 张弓 杨宇
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年5期
    页码:  10-13
    摘要: 采用中频交流磁控溅射方法,在玻璃基底上沉积Cu-In预制膜,采用固态硫化法制备获得了CuInS2(CIS)吸收层薄膜.考察了预制膜Cu/In原子比及硫化温度对于CIS薄膜结构及禁带宽度影响....
  • 作者:
    刊名: 真空
    发表期刊: 2009年5期
    页码:  13,61,65,76
    摘要:

真空基本信息

刊名 真空 主编 陆国柱
曾用名 真空技术报导
主办单位 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所  主管单位 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1002-0322 CN 21-1174/TB
邮编 110042 电子邮箱 zkzk@chinajournal.net.cn
电话 024-24134406 网址 www.vacjour.cm
地址 辽宁省沈阳市万柳塘路2号

真空评价信息

期刊荣誉
1. 中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
2. 工程技术类核心期刊

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