微区薄层电阻四探针测试仪及其应用

• 作者: 刘新福 孙以材 孙冰 孟庆浩 高振斌
• 来源期刊: 固体电子学研究与进展
• 学科: 工学
• 关键词: 微区薄层电阻 探针技术 改进范德堡法
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 微电子学
• 页码范围: 93-99
• 页数: 7页
• 分类号: TN307
• 字数: 4532字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3819.2002.01.020

摘要

用斜置的四探针方法,依靠显微镜观察,将针尖置于微区图形的四个角区,用改进的范德堡公式可以得到微区的薄层电阻.文中对测准条件作了分析.并用该仪器测定了硼扩散片的薄层电阻分布.在测试过程中应用微处理器,加快了计算速度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙以材	河北工业大学电气信息学院	117	1247	18.0	31.0
2	高振斌	河北工业大学电气信息学院	57	214	9.0	12.0
3	刘新福	河北工业大学电气信息学院	39	354	9.0	17.0
4	孟庆浩	河北工业大学电气信息学院	7	71	4.0	7.0
5	孙冰		7	29	2.0	5.0