MEMS加速度传感器的原理及分析

• 作者: 张海涛 阎贵平
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微机械加工技术 加速度传感器 封装
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 新工艺新技术
• 页码范围: 260-262,265
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2113字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2003.06.009

摘要

主要介绍了五种目前常见的基于MEMS技术的加速度传感器,从物理结构的角度对这几种传感器的测量原理进行了分析,不但着重介绍了已经较为成熟且形成产业化的硅微电容式、压阻式、热电耦式加速度传感器,而且对目前较为前沿的光波导式加速度传感器也进行了一些分析和介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张海涛		1	109	1.0	1.0
2	阎贵平		2	110	1.0	2.0