SnO2光透射率气敏薄膜的制备

• 作者: 边志华 郭竹远
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 二氧化锡 气敏 薄膜 光透射率 溶胶-凝胶法
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 新工艺新技术
• 页码范围: 32-34
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 1188字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2005.01.010

摘要

采用溶胶-凝胶技术,利用旋转涂膜法制备非晶态二氧化锡薄膜,常温下在含有CO的气氛中光通过薄膜的透射率变大,对CO有较高的灵敏度.对制备过程中出现的实验现象、制备机理及薄膜的结构和特性进行了研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭竹远		10	19	3.0	4.0
2	边志华		12	39	4.0	6.0