基于Linux的半导体生产设备通用平台的实现

• 作者: 戚其丰 胡跃明 黄建荣
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体生产设备 控制平台 Linux操作系统 多线程
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 新工艺新技术
• 页码范围: 352-354,363
• 页数: 4页
• 分类号: TN3
• 字数: 2719字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2006.06.011

摘要

上芯机、贴片机等是半导体制造行业中非常重要的生产设备,分析了上芯机、贴片机等半导体生产设备的系统控制平台,并且对各个系统的结构进行了比较,在抽取出它们的共同特征的基础上,提出了基于Linux操作系统的实时多任务系统通用平台的构建及其实现方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡跃明		147	1905	22.0	37.0
2	戚其丰		24	216	8.0	14.0
3	黄建荣		3	9	2.0	3.0