蓝宝石衬底上单晶InAlGaN外延膜的RF-MBE生长

• 作者: 刘宏新 曾一平 李晋闽 王保柱 王军喜 王新华 王晓亮 王晓燕 肖红领 郭伦春
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: RF-MBE 铟铝镓氮 RHEED XRD AFM
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1382-1385
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.054
• 字数: 1981字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.08.009

摘要

利用射频等离子体辅助分子束外延技术在蓝宝石衬底上外延了晶体质量较好的单晶InAlGaN薄膜.在生长InAlGaN外延层时,获得了外延膜的二维生长.卢瑟福背散射测量结果表明,InAlGaN外延层中In,Al和Ga的组分分别为2%,22%和76%,并且元素的深度分布比较均匀.InAlGaN(0002)三晶X射线衍射摇摆曲线的半高宽为4.8′.通过原子力显微镜观察外延膜表面存在小山丘状的突起和一些小坑,测量得到外延膜表面的均方根粗糙度为2.2nm.利用光电导谱测量InAlGaN的带隙为3.76eV.