生瓷带打孔机运动平台的设计

• 作者: 狄希远 王贵平 田芳 董永谦
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: LTCC 生瓷带 打孔 X、Y运动平台
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 新工艺新技术
• 页码范围: 113-115
• 页数: 3页
• 分类号: TN605
• 字数: 1967字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2009.02.015

摘要

LTCC是现代微电子封装中的的重要组成部分,因其性能优良而广泛用于高速、高频系统中,生瓷带打孔机是LTCC多层基板制备中的关键设备.高速精密的运动控制技术和精密机械加工技术是生瓷带打孔机的关键技术.本文主要介绍了生瓷带打孔机中X、Y运动平台的设计理念、计算方法、分析和部分仿真结果.对于其它设备的研制,具有一定的借鉴引用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田芳	中国电子科技集团公司第二研究所	14	67	5.0	7.0
2	王贵平	中国电子科技集团公司第二研究所	7	49	5.0	7.0
3	董永谦	中国电子科技集团公司第二研究所	13	54	4.0	6.0
4	狄希远	中国电子科技集团公司第二研究所	9	19	2.0	4.0