高比容MLCC关键制作技术研究

• 作者: 李筱瑜 祝忠勇 陈长云
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: MLCC X5R 再氧化
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 新工艺 新技术
• 页码范围: 229-232
• 分类号: TN604
• 字数: 2651字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2011.04.011

摘要

高比容多层陶瓷电容器MLCC关键制作技术包括亚纳米陶瓷材料分散、薄介质用陶瓷浆料流延、内电极金属浆料丝网印刷、高精度叠层及高温烧结精准的气氛控制技术.通过试验研究发现:亚纳米陶瓷粉体使用PVB体系不同聚合度黏合剂采用砂磨方式进行分散,得到的陶瓷浆料分散均匀稳定.采用R2高精度设备PET载带流延方式可制成1μm左右的陶瓷膜片,膜片致密,堆积密度高.内电极印刷采用孔径30 μm左右1μm～2μm乳胶厚度的钢丝网进行印刷,印刷的电极图形完整,金属层均匀.成型采用140 MPa等静水压,使用弱还原气氛烧结可制出介质厚度2μm左右X5R特性的0805规格的MLCC,容量10μF,标称电压6.3 V.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	祝忠勇		14	49	4.0	6.0
2	李筱瑜		4	30	3.0	4.0
3	陈长云		4	31	3.0	4.0