平行板式静电微执行器动态Pull-in现象分析

• 作者: 徐琳 方玉明 郄军建
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 微执行器 动态 边缘电容 平行板式
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 新型半导体器件
• 页码范围: 176-179
• 分类号: TN703
• 字数: 1918字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2012.03.003

摘要

基于求不考虑边缘电容的静电微执行器动态Pull-in参数的能量分析法,并结合边缘电容的模型推导出考虑边缘电容情况下静电微执行器的动态Pull-in参数的计算方法.将不考虑边缘电容条件下的静电微执行器的动态Pull-in参数和考虑边缘电容条件下的静电微执行器的动态Pull-in参数进行比较,得到这两种条件下静电微执行器的动态Pull-in参数的不同以及边缘电容对静电微执行器动态Pull-in参数的影响:考虑边缘电容的Pull-in电压小于不考虑边缘电容的Pull-in电压；在边缘电容模型下,平行板长度的变化对Pull-in电压的影响很大,但是对Pull-in位移却没有影响,平行板宽度的变化对Pull-in电压的影响较小,但是对Pull-in位移的影响很大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方玉明	南京邮电大学电子科学与工程学院	52	140	6.0	8.0
2	郄军建	南京邮电大学电子科学与工程学院	2	9	1.0	2.0
3	徐琳	南京邮电大学电子科学与工程学院	2	9	1.0	2.0