金-硅共晶焊工艺应用研究

• 作者: 原辉
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 混合集成电路 芯片 共晶焊
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 微组装
• 页码范围: 18-20,37
• 分类号: TN605
• 字数: 3553字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2012.01.006

摘要

在混合集成电路中,对芯片的贴装多采用导电胶粘接工艺,但是由于其电阻率大、导热系数低和损耗大,难以满足各方面的要求;另一方面导电胶随着时间的推移会产生性能退化,难以满足产品30年以上长期可靠性的要求。而对于背面未制作任何金属化或仅仅制作了单层金的硅芯片又难以采用常规的焊接工艺进行贴装。介绍了一种硅芯片的贴装工艺金-硅共晶焊工艺,并对两种主要失效模式和工艺实施过程中影响质量的因素以及解决办法进行了论述。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	原辉		6	15	2.0	3.0