微波薄膜电路镀金层加厚工艺

• 作者: 王殿 郝鹏飞
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 关键词: 微波薄膜 LTCC 脉冲电源 镀金加厚
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 新工艺 新技术|NEW TECHNOLOGY & TECHNIQUES
• 页码范围: 106-109
• 页数: 4页
• 分类号: TN605
• 语种: 中文
• DOI: 10.14176/j.issn.1001-3474.2021.02.013

摘要

作为微波薄膜电路的主要基材,陶瓷基板在经过光刻镀金后通常会进行镀金层加厚工艺以保证电路性能以及后续工序的开展.在对电路加厚工艺和设备结构研究的基础上,提出了电镀电源、电镀溶液组分、电镀夹具以及镀槽结构等设计要求,以满足加厚镀金层的均匀性要求.通过实验对微波薄膜电镀镀金加厚层的镀层质量、镀层均匀性以及盲孔填孔性能进行验证,均符合了微波薄膜电路对镀金层加厚工艺要求的技术指标.