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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 电磁场分布及其对各种带电粒子的约束情况对磁控溅射过程有着决定性的影响.本文首先利用物理场耦合分析软件Comsol 3.2a分析了直流磁控溅射电磁场的分布,并且计算分析了单个带电粒子的运动情况...
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62. 会议消息刊名： 真空发表期刊： 2007年4期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 采用磁过滤阴极真空弧沉积技术在不同的真空室压强(N2流量)状态下制备TiAlN薄膜,讨论了N2流量对TiAlN薄膜各项性能的影响.并对薄膜的成分、结构和性能进行了测试.测试结果表明:获得薄膜...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 用真空蒸发和自然氧化法在玻璃基底上制备了Ti/TiO2多层膜,并检测了薄膜的光电性能.电性能检测表明Ti/TiO2多层膜存在类负阻效应,多层膜的层间的类负阻效应比表面的更明显,薄膜的层间电阻...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 本文介绍了海绵卷绕真空磁控溅射镀膜设备的结构及其特点,采用独特的传动机构,靶极结构及控制方式实现了海绵连续卷绕真空磁控溅射镀膜.
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66. 含钨类金刚石薄膜的制备与性能研究刊名： 真空发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 为了满足制备较厚低摩擦系数类金刚石薄膜(DLC)耐磨镀层的实际需求,对在等离子增强化学气相沉积的类金刚石薄膜(W-DLC)中掺钨进行了系统研究.研究结果表明,类金刚石薄膜掺入钨,在较宽的工艺...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 采用离子辅助蒸发的方法,以不同配比的Ta2O5和TiO2混合物为初始膜料在K9玻璃上制备了TiO2-Ta2O5混合薄膜,并对其透射性能和光学常数进行研究.实验结果表明,薄膜在可见光范围内的平...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 本文就一般文献资料中很少见到的关于陶瓷金属化过程中不同的工艺及其条件、材料使用方法等方面引起的产品异常现象进行了深入分析,并提出了相应的解决措施.
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69. SiOx薄膜的制备及发光特性研究刊名： 真空发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 本论文采用双离子束溅射沉积技术制备了非晶的SiOx薄膜,XPS的测试表明Si是以单原子或低价氧化物的形态存在于薄膜内;在波长为240 nm紫外光的激发下,室温及1000℃退火后SiOx薄膜的...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 新型磁控溅射电阻镀膜机是在同一台设备上能制作出中、低和高阻值金属膜电阻的专用设备.文章主要是对它的结构及设计核心部分进行了论述,并将研制中的一些数据和关键部分予以阐明.
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刊名： 真空发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 采用一种新型的离子束辅助非平衡反应磁控溅射设备制备了TiN/AlN纳米多层复合膜.采用XRD衍射、TEM、显微硬度计和干涉显微镜对TiN/AlN纳米多层膜的微结构和力学性能进行了表征.结果表...
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72. 玉米真空干燥特性的实验研究刊名： 真空发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 研究了供热温度、真空度、物料层厚度等对玉米干燥速率,裂纹率和发芽率的影响.实验结果表明,提高供热温度使干燥速率加快,但玉米裂纹率增加,发芽率下降;真空度对干燥速率的影响主要表现在干燥的初始阶...
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73. 真空管道TiN膜热出气率实验研究刊名： 真空发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 简要叙述了小孔流量法测量材料出气率实验的原理和实验装置,给出了不锈钢溅射镀TiN膜在不同情况下的热出气率,并对影响不锈钢溅射镀TiN膜热出气率情况的各种因素进行了分析,为使用溅射镀TiN膜表...
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74. 关于真空中工作的加热器材料选择刊名： 真空发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 介绍了选择真空环境中的加热器材料时必须考虑的问题,归纳整理了真空中加热器常用材料的详细的数据.
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刊名： 真空发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 设计了一套基于压差流量法的试验装置来测量玻璃钢试样的放气速率.将试样的表面采用砂纸(500#)进行打磨,采用扫描探针显微镜对试样表面粗糙度进行测量.测量了不同温度下玻璃钢试样的放气速率.试验...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 本文首先描述了BEPCII直线加速器真空系统的特点.同时介绍了基于PLC可编程控制器应用于离子泵电源的启动和过流保护的远控系统.另外还报告了此系统的软、硬件和调试过程.
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刊名： 真空发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 上海第三代同步辐射光源(SSRF)的动态真空要求为1.3×10-7 Pa,要获得这样的超高真空环境,真空系统配置了多台钛升华泵(TSP)和非蒸散型吸气剂(NEG)组件,针对这两种设备的工作参...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 通过调节影响诊断中性束离子源弧流的进气量、灯丝电流和弧压三个参量,进行了三组离子源起弧实验.建立了多元非线性回归模型,得到了三个参量对弧流的回归方程.回归分析表明,弧流对进气量和灯丝电流相当...
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79. 第十五讲真空工程封接技术刊名： 真空发表期刊： 2007年4期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 阐述窗户在建筑节能中的重要作用,指出LOW-E玻璃是当今节能效果最好的环保玻璃.介绍建筑节能设计标准以及市售LOW-E玻璃的品种及性能,强调LOW-E玻璃的地区适应性及在南方炎热地区的合理选...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 提出使用数字CCD拍摄光干涉条纹,使用图像处理软件进行灰度值扫描分析光干涉条纹的方法,对不透明薄膜进行光干涉法测厚.数字CCD和图像处理软件的结合使用能够最大限度的降低目测带来的误差,并且也...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 爆轰法合成纳米氧化铁,具有工艺设备简单、成本低、操作方便等优点.不同的外界条件对生成产物的形状、性质以及晶粒大小有一定影响.本文基于相同实验材料及实验温度的基础上,使反应物在不同压力环境中爆...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 本文对多弧离子镀在不锈钢板上沉积TiN涂层的均匀性进行了研究,分析了影响涂层均匀性的主要因素.结果表明,弧基距、磁场强度、气体压力及基片温度对涂层的均匀性起着决定性的作用.
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刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 提出一种新型复合固体润滑膜,并讨论了该复合膜的结构和作用机理.复合结构的基本组成是传统硬质涂层TiN和TiC的结合,最上面的固体润滑膜是用射频等离子体增强化学气相沉积(RFPECVD)方法沉...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 本文对所研究的直流磁控溅射法制备的ITO透明导电薄膜,采用X射线衍射技术进行了膜层晶体结构与薄膜厚度关系的分析, 并测量了薄膜电阻率及透光率随薄膜厚度的变化情况.实验结果表明,当控制薄膜厚度...
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86. 磷掺杂对纳米硅薄膜输运性质的影响刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,在玻璃衬底上低温沉积了优质本征和掺磷纳米硅薄膜,并利用Raman散射谱和电导率谱对比研究了磷掺杂对纳米硅薄膜的电子输运性质的影响.研究结果表明...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 微机电系统(MEMS)的研究引起了人们的极大关注,摩擦行为是影响MEMS性能的关键因素之一.本文采用等离子源离子注入(PSII)技术在硅衬底上制备薄膜,利用Raman光谱表征制备薄膜的类金刚...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 本文采用电子束蒸发配以Kaufman离子源产生的氧离子辅助沉积了Ta2O5薄膜,用原子力显微镜(AFM)表征了薄膜的表面形貌、表面粗糙度,探讨了Ta2O5薄膜在此工艺下的表面质量.用分光光度...
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89. ZAO薄膜的光电特性与应用前景刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 综述了ZAO透明导电薄膜的光电特性及其导电机理、制备技术与研究现状,认为ZAO薄膜在平板显示、太阳能电池和低辐射器件领域具有广泛的应用前景,要达到工业应用还需对一些关键问题进行系统的研究.
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刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 针对PECVD中等离子体的密度沿径向分布均匀性较差、空间气氛化学活性较差的问题,在PECVD的基础上加入电子发射源和正交电磁场以控制电子的运动,从而增强等离子场的强度和范围,使反应场的活力增...
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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